用于齿轮齿面形状误差测量的光学系统设计与仿真.pdfVIP

东莞理工学院学报 第20卷第1期 V01．20No．I OFTECHNOLOGY 201 JOURNALOFDONGGUANUNIVERSITY Feb． 2013 3年2月 用于齿轮齿面形状误差测量的光学系统设计与仿真 王磊杰1 方素平2 (1．东莞理工学院机械工程学院，广东东莞523808； 2．西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，西安710049) 摘要：基于齿轮齿面的特殊性和激光干涉系统设计理论，以系统易实现、且能获得良好的干涉条纹图像 为具体设计目标，提出了斜入射式的激光干涉测量系统结构方案。介绍了光学测量系统的结构、原理，阐述 了基于光线追迹的光学系统计算仿真方法，给出了分别以平面、渐开线直齿轮齿面和渐开线斜齿轮齿面作为 被测对象时的干涉条纹图像的仿真结果。 关键词：光学系统设计仿真；激光干涉；形状误差；齿面 中图分类号：THl61 文献标识码：A 文章编号i 齿轮齿面由于其结构的特殊性，目前测量其形状误差的主流方法仍然是传统触针式方法¨。3J，这种 方法通常是用探针和齿面发生接触，触针随齿面形状做上下移动，其移动位移量被计算机记录，根据整 个移动过程所被记录的数据就可以重构出齿面形状，进而可以计算其形状误差。由于是单点接触，触针 式方法测量效率低，并且容易损伤被测面，同时由于探针加工精度的瓶颈，测量精度低，已经难以满足 当前越来越高的测量精度要求。在近几十年激光干涉法测量物体表面轮廓的研究得到了广泛开展H。8j， 并且取得了良好的效果，也应用到了实际的工程测量，相较于传统触针式测量方法，激光干涉测量法的 优势主要表现在测量效率高，测量精度高，对被测表面不会造成损伤等等。但目前激光干涉法测量物体 表面几何量的应用研究中，被测表面前方没有遮挡物，激光测量光束可以垂直入射到被测表面。显然对 于前方有遮挡物的齿轮齿面，这样的光学系统是不适用的。本文的研究内容就是设计一套可以应用于齿 轮齿面形状误差测量的光学干涉系统，并对其成像进行仿真。 标准齿面 被测齿面 1 光学系统设计 1L J 1．1测量方法设计思路 干涉条纹图 干涉条纹图 本文以渐开线齿面为被测对象，测量其相对于一个标准 l J 齿面的形状误差，被测齿面和标准齿面分两次在光学系统中 条纹图解包裹 条纹图解包裹 成像获得其各自的干涉条纹图像，通过对两组干涉条纹图像 的对比分析获得被测齿面的形状误差。测量方案流程如图1 上 所示。本文研究内容在整个测量项目中的作用是设计一套光 被测齿面相对于 学激光干涉系统，以获得标准齿面和被测齿面各自的干涉条 标准齿面的相位差 纹图像。 上 1．2光学激光干涉系统设计 相位差的连续化 按照光学成像理论和实验光路简单、易实现的要求，根 据被测齿面的结构特征，采用了测量光束大角度斜入射齿轮 Jr 齿面的方式一一0|，设计了如图2所示的光学系统。