MOEMS陀螺的空间谐振腔微镜调节新方法.pdfVIP

第21 卷第4 期 中国惯性技术学报 Vol.21 No.4 2013 年8 月 Journal of Chinese Inertial Technology Aug. 2013 文章编号：1005-6734(2013)04-0549-04 MOEMS 陀螺的空间谐振腔微镜调节新方法 1,2,3 4 3 1,2,3 刘惠兰 ，王 勇 ，唐依创 ，冯丽爽 (1. “惯性技术”重点实验室，北京 100191 ；2. 微纳测控与低维物理教育部重点实验室，北京 100191 ； 3. 北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院，北京 100191 ；4. 湖北航天技术研究所，武汉 430040 ） 摘要：空间谐振腔是空间谐振式MOEMS 陀螺的核心敏感器件，构成谐振腔的微镜的调节是实现谐振 腔的关键。提出了一种基于耦合原理调节空间谐振腔竖直微镜的方法。针对使用微加工工艺制作的竖 直微镜，运用耦合原理将以往避免的调节耦合量作为有益量完成对微镜的空间调节。通过相应的调节 基本结构及调节方法，对由相应的结构构成的微谐振腔分别进行了MATLAB 及ANSYS 仿真和分析。 结果证实了此调节方法的可行性，基于该调节方法和调节结构完全能够实现微镜的高精度空间调节， 对MOEMS 陀螺的空间谐振腔的调整具有可靠的调节稳定性及更高的集成度，为空间谐振式MOEMS 陀螺的实现提供一条新的路线。 关 键 词：耦合原理；微镜；空间调节；MOEMS 陀螺；集成 中图分类号：TH74 文献标志码：A Novel adjustment method for micro-mirrors in MOEMS gyroscope spatial resonator 1,2,3 4 3 1,2,3 LIU Hui-lan , WANG Yong , TANG Yi-chuang , FENG Li-shuang （1. Science and Technology on Inertial Laboratory, Beijing 100191, China; 2. Key Laboratory of Micro-nano Measurement-Manipulation and Physics(Ministry of Education), Beijing 100191, China; 3. School of Instrumentation Science and Opto-electronics Engineering, Beihang University, Beijing 100191, China; 4. The 9th Designing Department, China Aerospace Science and Industry Corp., Wuhan 430040, China) Abstract: Spatial resonator is the key element of MOEMS gyroscope. Adjustment of the micro-mirrors of spatial resonator is important for realization of the resonator. An adjustment method based on coupling theory for the