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微纳米及其加工技术 1 微机械系统及其加工 称谓： 美国：微型电子机械系统（MEMS） 日本：微机器 欧洲：微系统 按尺寸分类： 微小型机械： 1～10mm 微机械： 1μm～1mm 纳米机械：1nm～1μm 微机械的概况--几种典型产品（1） 日本丰田公司早已造出长4．8毫米的4轮微型汽车 美国斯坦福研究所的微观“人造肌肉”则可利用“扑打”的方法，带动微型飞机飞行 美国林肯实验室的燃气轮机只有钮扣般大小，可产生0．64公斤推力 麻省理工学院的喷气式发动机，直径只有1厘米，推力为13克，可带动50克重的微型飞机以300公里时速飞行 德国的微型直升机有400毫克重，发动机直径1—2毫米，转速高达每分钟4万转 瑞典皇家理工学院设计 微机械的概况--几种典型产品（2） 美国国家航空航天局准备要研制重7磅（3．2公斤）的超微航天探测器 广东工业大学与日本筑波大学生物医用微型机器人，一维二维联动压电陶瓷驱动器，位移50umX50um 哈尔滨工业大学电致伸缩陶瓷驱动二自由度微型机器人，10umX10um,位移分辨率00.1um 微机械材料与微型构件 硅体材料：单晶硅、多晶硅、二氧化硅、炭化陶瓷、石英、 金刚石、记忆合金 、压电 功能材料：电致伸缩材料、形状记忆材料、永磁材料、受热变相的凝胶材料 微机械的应用领域 微机械由于具有狭小空间内进行作业而又不扰乱