掺杂高栅介质薄膜的制备及性能研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 )( ! ) ! ， ， ， XY, 6)( WY 6 ! :FHFZFN ) （ ） !5%LT)T)( ! T)L!5’ +UI+ V/*1JU+ 1JWJU+ !) U[@ 6 V[B\ 6 1YH 6 掺杂 高 栅介质薄膜的制备及性能研究! ! # % ! $ ）） ） ） ） ） !