声表面波MEMS器件的设计和制作工艺.pdfVIP

第32卷第 10期 西 安 工 业 大 学 学 报 Vo1．32NO．10 2012年 10月 JournalofXi’anTechnologicalUniversity Oct．2012 文章编号： 1673—9965(2012)10—785—04 声表面波 MEMS器件的设计和制作工艺 高爱华，鲍 帅，刘 欢 (西安工业大学 光电微系统研究所，西安 710032) 摘 要： 为了探索声表面波器件制作工艺，在压电器件工作原理的基础上，通过设计声表面 波器件的工作频率、叉指宽度、间隙及对数等器件参数，绘制了掩模板，对制作的声表面波器件 进行测试 ，制作 了不同叉指对数 、孔径长度 、中心距离的电极．实验结果表 明：以石英为基底 ，使 用 EPG533型光刻胶在前烘温度为 105℃，曝光时间为8S，显影时间为 50S时获得 了较理想 电极 图形和稳定的实验参数． 关键词： 声表面波；微机电系统技术；器件制作；器件测试 中图号： TN65 文献标志码 ： A T 近年来声表面波器件在科研及实际应用领域 出叉指换能器 由正压电效应使波信号重新转变为 都取得了很大发展，微机电系统技术的出现和发展 易于检测的电信号 ．声表面波器件基本工作原理 为声表面波的应用提供了更广阔的空间[1]．声表面 图如图 1所示． 波(SurfaceAcousticWave，SAW)是一种沿弹性 固体表面或界面传播的弹性波，能量集中于固体表 面，波形种类主要包括瑞利波、拉姆波、乐甫波、电 图 1 声表面。波器件基本工作原理 图 声波等．1885年英国物理学家瑞利在地震波研究 Fig．1 Thebasicworkingprinciple 的基础上首先从理论上提出了声表面波．1965叉 diagram oftheSAW devices 指换能器 (InterDigitalTransducer，IDT)的出现 1)叉指换能器的设计 叉指换能器的设计主 使声表面波技术取得快速发展…2]．近年来许多国 要涉及 以下参数，SAW 波长A，指条宽度61．，指条间 家及研究机构投入 了大量的精力研究 SAW 技术 隙6，中心频率 ．，，带宽af，SAW 声速 ，周期长 及器件并取得了长足进步．声表面波器件是]二艺简 度M，叉指电极的电极对数 』＼，『孔径 W，叉指电极 单、高灵敏度、高可靠性的器件，优化设计及工艺是 中心距离L，叉指换能器示意图如图2所示． 改善器件性能的主要因素之一[5]．但现有工艺参 数稳定性较差，无系统分析器件制作工艺参数，文 中研究了声表面波器件的制作及测试，通过实验对 器件制作工艺参数进行优化分析，制作出声表面波 器件并对器件进行测试． 1 声表面波器件工作原理 声表面波器件基本工作原理是在输入叉指换 图2 叉指换能器示意图 能器上加电信号，压电基底的逆压电效应使电信号 Fig．2 Schematicdiagram ofIDT 转变为波信号，波信号沿压电基底表面传播，经输 * 收稿 日期：2012—06—10 作者简介：高爱华 (1967一)，女，西安工业大学教授，主要研究方向为光电测控技术和信号处理．E—mail：freegah@126．corn． 786 西 安 工 业 大 学 学 报 第 32卷 其中a一方===1／4ti，M=ti=== ／．，N ／nJ 后使用热板对压电基片