超纯PFA衬里及其在电子化学品领域中的应用.pdfVIP

· 12 · 顾秋林等 超纯PFA衬里及其在 电子化学品领域 中的应用 氟化T r^ — — — —— 1 {氟 化 工 } t、．、．．．、，．．．．．．．．，．一 超纯 PFA衬里及其在 电子化学品领域中的应用 顾秋林 顾国跃 童华攀 (东阳市四达氟塑有限公司，浙江 东阳 322118) 摘要 介绍 了可熔性聚 四氟乙烯 (PFA)的特性 ，说 明了PFA材料 的耐腐蚀性能、金属离子 析 出水平 、加工性能：对超纯 PFA与普通 PFA材料进行 了比较 ，叙述 了钢制设备的超纯 PFA衬里结构及制造流程。介绍 了常见的电子化学品，以及超纯 PFA衬里在 电子化学品 中的应用情况。认为随着消费电子领域 日趋繁荣及全球 IC产业逐步转向中国大陆，对 电 子化学品的需求也越来越大．超纯PFA衬里的市场将迎来 良好的发展 时期 关键词 超纯可熔性聚四氟乙烯 ；衬里 ；金属离子析 出；电子化学品；应用 中图分类号 TQ050．4+5 文献标识码 A D0I10．3969／j．issn．1006—6829．20l2．06．0HD3 PFA，即四氟乙烯 (TFE)与全氟丙基乙烯基醚 目前世界上生产 PFA材料的3大主要制造商。 (FVE)的共聚物 ，从分子结构看，与聚四氟乙烯 (PTFE) 1 超纯PFA与普通 PFA材料 的比较 非常接近，所以常温下其物理机械性能 、化学性能和 电性能也与 PTFE十分接近。但是 PFA可以熔融加 超纯 PFA与普通 PFA材料之间的主要差异在 T。如注塑 、挤出、模压 ，所以将 PFA称为 “可熔性聚 于金属阳离子和阴离子等 的析出程度不同．其加T 四氟乙烯 ”。 原理和其他性能基本一致 。但是超纯 PFA对加T环 PFA 的分子结构为 (Rf--C，F)： 境 、模具和流程的净化管理更为苛刻和严格。普通 F F F F F F PFA盛装 电子化学品液体一段时间后 ，PFA材料 内 1 i i l l j … 一 部的 自由基和杂质离子容易析 出并溶解到所盛装的 C—C— — — —c…～ 介质中去．导致 电子化学品中的杂质离子含量升高． F F O F F F 。 j 所以不被应用。 Rf 图 1和表 1、表 2是常见的PFA材料的离子析 其 中全氟丙基的质量分数约为4％。 出量对 比。 PFA特性代表数据 ：熔点 302—310℃，相对密度 2．12～2．17：23℃和 200oC时，拉伸强度分别为 27～31 MPa和～llMPa．屈服强度为～15MPa和4～5MPa： 23℃时延伸率 280％～400％，邵 氏硬度 D60，线胀系 数 (20～100℃)0．12x10 K～，最高连续使用温度 260 ℃。PFA树脂对几乎所有的化学试剂和溶剂是惰性 的，与通常的酸 、强碱 、氧化还原剂 、卤素或溶剂接触 都基本无变化 ．但和其他全氟碳聚合物一样会与熔 融碱金属和元素氟反应。 0 l 2 3 4 5 6 1938年 ．美 国DuPont公司发 明了PTFE，后来 w(F)／10 在此基础上 开