机械刻划光栅多层复合铝薄膜微结构及力学性能分析.pdfVIP

第35卷第4期 长春理工大学学报 (自然科学版) Vol-35 No．4 2012年 l2月 JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology (NaturalScienceEdition) Dec．2O12 机械刻划光栅多层复合铝薄膜微结构 及力学性能分析 张宝庆，史国权，石广丰，宋林森 (长春理工大学 机电T程学院，长春 130022) 摘 要：目前光栅机械刻划加工是采用在铬、玻璃等基底上通过真空蒸镀一层微米级铝薄膜后，用金铜石刻划刀作直线往 复运动加工而成，蒸镀复合铝薄膜的力学性能对刻划成槽的质量影响较大，受铝薄膜真空蒸镀工艺及尺度效应的影响，各 批次铝薄膜质量相差也较大。针对当前仅依靠经验估测铝薄膜质量所带来的问题，采用XRD (X—raydiffractionx 射线衍 射)与SEM (scanningelectronmicroscope)实验对铝薄膜微结构进行表征，采用纳米压入测试技术对带玻璃基底铝薄膜 力学性能进行分析。研究结果表明，分层镀膜是较好控制晶粒尺寸的方法，力学性能受薄膜平均晶粒尺寸与基底影响较 大，随着压入深度的增加 ，弹性模量与硬度呈下降趋势。 关键词：铝薄膜；微结构；力学性能；XRD；SEM 中图分类号：TH164 文献标识码：A 文章编号(2012)04-0076-05 AnalysisofM icrostructureandM echanicalPropertiesforthe MechaniaclScrathc ingGratingMulti--·-layer CompositeAluminum Film ZHANG Baoqing，SHIGuoquan，SHIGuangfeng，SONG Linsen (ChangchunUniversityofScienceTechnology．Changchun130022) Abstract：Currently，grating mechanicalscribing process is corducted by linear reciprocation processing with diamord scribing toolon a chromeorglass substrate depositedwith onemicron levellayerofaluminum film undervacaum con—— ditions．Thequalityofthedepositedcompositealuminum film isinfluenceolbythemechanicalpropertiesandvacauln de—— position parameters．In orderto deeply understarolthe influenceofparametersonthequality ofdeposited rims， XRI) (X ray diffraction)andSEM (scanningelectronmicroscope)wereusedtocharaetiovizethemicrostructmeofthealumi— nunu thin film．Nano——indentation testing technique wasused to analyse themechanicalpropertiesofthe aluminum film with aglasssubstrate．Theresultsshow thatthelayeredcaatingmethod ispoeforableofcontrollingthegrain size．M echa nialproperties is influenced heavily by the film arerage grain size and the substrafe．W ith the