梳状音叉MEMS陀螺漂移时间序列建模方法研究.pdfVIP

维普资讯 2008年 第27卷 第6期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 21 梳状音叉MEMS陀螺漂移时间序列建模方法研究 曲国福 ，刘宏 昭 (西安理工大学 机械与精密仪器工程学院。陕西 西安 710048) 摘 要：根据一种典型结构的梳状音叉 MEMS陀螺的非随机性误差特性 ，借助ARIMA模型对其进行描 述。在ARIMA模型参数估计的过程中，引入虚拟 白噪声来补偿参数估计过程中的由于噪声未知而引入的 误差，根据样本的自相关函数、偏相关函数，并结合AIC与BIC准则确定模型阶数，利用最大似然估计对模 型参数进行估计，在一定近似条件下，得到梳状音叉 MEMS陀螺非随机性误差模型的形式。实验结果表 明：采用该方法所确定的模型能够精确地描述 MEMS陀螺的漂移特性 ，预测陀螺的输出。