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表面粗糙度对于微结构粘附的影响分析 王立森, 赵亚溥 ( 中国科学院力学研究所 非线性力学国家重点实验室，北京 100080) 摘要：考虑实际微结构表面粗糙度对粘着特性的影响，利用表面力以及表征微尺度粘着弹性接触理论的粘着数 对微机械中典型的微悬臂梁结构的剥离数(peel number)进行修正。结果表明，由于表面粗糙度的存在，微结构中 的粘着作用削弱，而这种作用可以利用粘着参数(adhesion parameter)θ来定量刻画。 关键词：粘着；van der waals 力；粘着数；剥离数；表面能；微尺度粘着接触 中图分类号： 微电子机械系统（MEMS ）通常采用与传统 并没有考虑表面力的影响。当研究对象特征尺度 的IC 工艺相兼容的表面硅微加工方法，通过先在 减小到一定范围时，将出现很多传统宏观接触理 牺牲层上形成平板或者梁结构，然后再腐蚀掉牺 论所无法解释的现象，究其原因就是两物体间表 牲层而得到所需结构。采用这种工艺加工得到的 面力的作用; 而在宏观理论中，这些表面作用力 微构件的侧向尺寸为 10~500µm, 厚度方向尺寸 和弹性力相比很弱，可以忽略。从众所周知的尺 为 0.1 µm 到几个µm, 与基底之间的间隙一般为 度率关系来看，随着尺寸的减小，与特征长度L 0.1~2 µm[1]. 在这种类型的微构件中，微构件之间 成2 次方标度的表面力将大于与L 成3 次方标度 彼此非常接近，并且大的长细比使得结构非常柔 的体积力；当表面力成为主导因素时，传统的连 软；另一方面由于其具有很大的比表面积，表面 续介质力学方法显示出明显的不足；此时宜将由 力的作用变得非常明显，这样为构件之间发生粘 表面力(或表面能)所引起的粘着与经典接触力学 附提供了条件。例如，对于具有高度柔性的亚微 相结合,构成微尺度粘着接触理论[2]。 米结构，克服粘附所需要的撕开力(pull-off force) Bradley(1931 年)给出了两个半径分别为R 1 为 nN, 而在作为汽车防撞气囊的微加速度计中 和R2 的刚性球接触时产生的粘着力为2πR∆γ ，其 微结构与邻近平面之间的撕开力可以达到几个 中R 为等效半径R R /R +R ，∆γ 为表面能或者称 1 2 1 2 µΝ。粘附可以发生在微加工工艺的最后一步结构 为粘着功。利用Lennard-Jones 势，Derjaguin 等[3] 释放过程中，也可能因过载或环境等因素引起机 给出了考虑接触表面粘着力时的修正Hertz 关系: 械失效而发生在封装好的装置内。 3 a K 粘附的微观机理可以归结为毛细力、静电力、 P + 2πR∆γ ， δ a 2 / R . (1) R van der waals 力等综合作用的结果。不同情况下， 式(1)一般被称为DMT 理论。P 为作用于两表面上 各种因素的贡献将会不同。对于作为分子间相互 的外力。当无外力作用时，在表面力作用下将产生 作用表现形式的 van der waals 力和短程静电力 半径为a0 (2πR 2 ∆γ / K )1/ 3 的接触圆域。 的研究在微尺