分立式变形反射镜薄镜面的应力分析方法研究.pdfVIP

　　　　　 第 5 卷　第 5 期 光学　精密工程 . 5, . 5 V o l N o 1997 年 10 月 O P T IC SAN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G O ctob er , 1997 分立式变形反射镜薄镜面的 应力分析方法研究 曾志革　　凌　宁 ( 中国科学院光电技术研究所, 成都 6 10209) 　　摘要　推导出变形反射镜薄镜面产生变形时的应力分布计算公式, 利用该公式、 简化的应力公式以及有限元法分别对 6 1 单元和 3755 单元变形反射镜薄镜面工作时 的最大应力进行了计算, 对计算结果进行了比较和分析。 关键词: 变形反射镜; 镜面应力; 有限元法 1　引　　言 ( ) 　　变形反射镜 以下简称变形镜 是自适应光学技术的关键器件, 主要用于光学系统中校正 [ 1 ] 系统自身或外部各种因素对光束造成的静态以及动态的波前误差 。其特点是在外加力作用 下, 以高分辨率快速实现光学镜面面形变化从而改变光束波前位相, 使系统成为能动可控的光 学系统。 　　在众多种类的变形镜中, 分立式压电变形镜具 有变形量大、表面变形没有间断等优点, 已广泛应用 于国内外的多个自适应光学系统[2- 4 ] 。 　　分立式压电变形镜结构如图 1 所示, 主要由基 板、驱动器阵列和薄镜面组成。当各个驱动器随外加 电压变化而产生变形时推动薄镜面产生局部变形以 改变波前位相, 从而起到校正误差的作用。因此, 薄 镜面的参数设计是研制变形镜的重点之一[ 5- 6 ] 。薄 　　F ig. 1　T h e st ru ctu re d iagram o f d iscrete ( ) 镜面的直径厚度比较大 一般 30 , 其合理的设计 p iezo e lect r ic defo rm ab le m ir ro r 包括使之具有足够的刚性和强度以产生所需变形并 收稿 日期: 1997 年 1 月 30 日 　本工作由国家 863 计划资助 22 光学　精密工程 5 卷 能尽量减少加工中的困难。这主要包括薄镜面的材料选择及物理参数的设计, 以保证变形镜在 正常工作条件下产生各种变形时薄镜面的最大应力必须小于其材料的许用应力。因此对薄镜 面在特定参数下产生一定变形量时最大应力的计算非常重要, 利用计算数值对变形镜的正常 使用提供参考。 虽然在一些文献[ 5- 6 ] 中曾对薄镜面的应力进行分析, 但大都基于比较简单的弹性力学公 式, 计算结果较粗略。本文从三个方面不同角度对薄镜面的应力情况作了计算: 推导出薄镜面 产生一定变形量时的最大应力的计算公式, 利用该公式和简化的应力计算公式以及有限元法 分别对 6 1 单元和 3755 单元变形镜的具体参数进行了最大应力值的计算。最后对计算结果进 行了比较和分析。 对于分析变形镜面的变形量和应力分布关系, 比较典型的是考虑受中心驱动器和周围第 一圈驱动器的联合作用, 来形成波动的镜面面表, 以下的工作都是针对这种实例。 2　简化的最大应力公式计算变形镜薄镜面最大应力 　　当变形镜仅受一个驱动器力而产生变形时, 同周围第一圈驱动器相粘联的薄镜面变形量 远较中心驱动器处的变形量小, 故这一圈驱动器可近似