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第五节 微观结构分析技术 一、专家评议 1 电子显微镜的发展趋势 1.1 高性能场发射枪电子显微镜日趋普及和应用 场发射枪透射电镜能够提供高亮度、高相干性的电子光源。因而能在原子--纳米尺度上 对材料的原子排列和种类进行综合分析。我国目前也有上百台以上场发射枪透射电子显微 镜。 常规的热钨灯丝（电子）枪扫描电子显微镜，分辨率最高只能达到 3.0nm ；新一代的场 发射枪扫描电子显微镜（热场或冷场），分辨率可以优于 1.0nm；超高分辨率的扫描电镜， 其分辨率高达 0.5nm～0.4nm 。甚至更高。我国目前也有数百台以上场发射枪透射电子显微镜。 其中环境描电子显微镜可以做到：真正的“环境”条件，样品可在 100%的湿度条件下 观察；生物样品和非导电样品不要镀膜，可以直接上机进行动态的观察和分析；可以“一机 三用”。高真空、低真空和“环境”三种工作模式。 1.2 努力发展新一代单色器、球差校正器，以进一步提高电子显微镜的分辨率 球差系数:常规的透射电镜的球差系数 Cs 约为 mm 级；现在的透射电镜的球差系数已 降低到 Cs0.05mm. 色差系数:常规的透射电镜的色差系数约为 0.7 ；现在的透射电镜的色差系数已减小到 0.1 。 场发射透射电镜