0253 401 一种新颖的四梁式压电薄膜微型陀螺.pdfVIP

第30 卷第4 期 中 　国 　科 　学 　技 　术 　大 　学 　学 　报 Vol. 30 ,No. 4 2 0 0 0 年 8 月 JOURNAL OF CHINA UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY Aug. 2 0 0 0 ( ) 文章编号 2000 0440105 一种新颖的四梁式压电薄膜微型陀螺 1 2 1 马　薇 ,李世玮 ,虞吉林 ( 1. 中国科学技术大学力学和机械工程系,合肥 230026 ; 2. 香港科技大学机械工程系 ,香港九龙清水湾) 摘要 :利用压电陶瓷的特性 ,采用 IC 兼容的技术 ,设计并制造了一种新颖的压电薄膜 微型陀螺. 在 Pt/ Ti/ SiO / Si 基底上以 solgel 技术铺设了高质量的压电陶瓷薄膜. 基于 2 压电反效应 ,微型陀螺在其谐振频率上被 0. 3 V 的交流信号驱动. 由其压电正效应, 可检测到与转动角速度成正比的输出信号. 本文介绍了该微型陀螺的设计原理. 实验 结果证实了理论预测. 关键词 :压电效应 ;科里奥利力 ;微机械制造 ; IC 兼容技术 ;微型陀螺 中图分类号:TH824. 3 , TN40 　　　文献标识码 :A 1 　简介 角速度是涉及运动控制的众多需要测量的物理量中重要的一种 ,所以对测量角速度的 传感器的研究一直是人们感兴趣的课题之一. 众所周知 , 陀螺就是测量角速度的一种传感 器. 传统的陀螺 ,一般都体积庞大 ,价格昂贵. 因此 ,几十年来 ,人们不断地致力于体积小、价 格低的陀螺的研制和开发. 随着微电子技术的发展 ,许多传感器的尺寸都被缩小到毫米乃至 微米量级 ,并以 IC 技术制作到硅片上. 微米量级陀螺的研制更是一个具有挑战性的课题并 拥有良好的市场前景. 近几年来 ,微型陀螺的研制取得了一定的进展[1～4 ] . 然而 ,所报道的微型陀螺大多以静 电力作为驱动力来驱动结构的振动,并以随之出现的科里奥利效应来测量角速度 ,它们需要 很高的 DC 驱动电压 ,其测量效果也不能满足各种需求. Hansjoachim 于 1990 年利用压电陶瓷的特性研制出一种结构非常简单的板型陀螺[5 ] , 由 压电陶瓷块在电场作用下产生的剪应力致使结构振动以测量角速度. 这种设计大大简化了 结构和测量装置 ,降低了封装成本. 美中不足的是 ,它的输出信号电压非常微弱. 本文推出一种新型的四梁式微型陀螺. 结构以 IC 兼容的技术制作在硅片上 ,总面积为 [6 ] [7 ] 2. 7 mm ×2. 7 mm. 四梁以Pt/ Ti/ SiO / Si 为衬底 , 以solgel 技术 铺以高质量的压电陶瓷薄 2 膜. 借助压电的正效应 ,当对压电薄膜以结构的谐振频率加以 0. 3 V 的交流电场时 ,结构被 激振 ,振动的结构在转动坐标系中产生的科氏力由压电的反效应转变为输出电压 ,该电压与 转动角速度成正比. 本文简述了四梁式微型压电陀螺的设计思想 ,制作过程及测量结果. 所 收稿日期 　作者简介 :马薇 ,女 ,1969 年 11 月生 ,讲师. © 1994-2006 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. 　　　　　　　　　　　　　　　　中国科学技术大学学报 　　　　　　　　　　　　　　第 30 卷 402 制作出的微型陀螺谐振频率为 73. 48 kHz , 在角速度测量范围为 150°/ sec 内其灵敏度为 μ - 1 ( ) - 1 308 V ·V ·