数字压力标准在表压绝压 测量模式转换的准确度.pdfVIP

如何保证如何保证数字压力标准数字压力标准在表压在表压/绝压绝压 如何保证如何保证数字压力标准数字压力标准在在表压表压 绝压绝压 测量模式转换的测量模式转换的准确度准确度 测量模式转换的测量模式转换的准确度准确度 ——PPC4 先进的测量模式转换技术先进的测量模式转换技术 先进的测量模式转换技术先进的测量模式转换技术 一、一、定义定义 一一、、定义定义 工程中常用的压力测量仪表主要分为两 种类型：表压型和绝压型。表压是指以大气压 力为参考点，大于或小于大气压力的压力，通 常用 G 表示；绝压是指以绝对真空为参考点的 压力，通常以A 表示。如右图所示。可以看出， 表压和绝压的关系是： 绝压 = 表压 + 大气压 由于被检表中存在表压型和绝压型两种，所以在使用数字压力标准对被检表校准时，需 要标准器既可以测量绝压又可以测量表压。目前可以实现表压和绝压测量的数字压力控制器 （或数字压力计）很多，通常是通过增加大气参考选件，或者外配大气压计实现。但以上两 种方式在进行压力模式转换时，受到其大气参考的准确度影响，都将引入较大的相对不确定 度，势必影响整个校准结果。 二、二、问题问题分析分析 二二、、问题问题分析分析 以目前较为常见的数字压力控制器为例，其使用的参考传感器大多为表压型压力传感 器。当使用此种仪器测量绝压时，需配置内置 （或外置）的大气参考压力计，以测量大气压 值。通过将测得的表压值与大气压值相加获得绝压值。这种测量方法引入的不确定度包含两 部分： 1. 由大气压计本身精度引入的不确定度。目前常见的高精度大气压力计，其精度最高 约为 0.01%，标准大气压值约为 101.3kPa，则由此引入的不确定度为： 101.3kPa × 0.01% ≈ 0.01 kPa （=10Pa） 由于绝压型被测仪表通常量程较小，校准压力点通常在大气压以下，最低可达绝压 1kPa。在进行绝压测量时，随着测量压力的下降，由大气压计引入的不确定度急 剧增大，对校准结果的准确度造成极大的不利影响，甚至将导致校准数据和校准结 论错误。不确定度见表 1 所示。 测量压力点 由大气压计引入的 对最终测量结果 （绝压，kPa） 不确定度 （kPa） 引入的不确定度 100 0.01 0.01% 50 0.01 0.02% 20 0.01 0.05% 10 0.01 0.1% 1 0.01 1% 美国福禄克公司计量校准部 网址： 电话：010 2. 此外，由于大气压计是数字压力计，本身存在漂移。使用性能最稳定的石英式传感 器的大气压计，其一年期长期稳定性约为 0.005%读数；若此大气压计使用的传感 器为其他类型的传感器，如硅压阻式传感器，其一年期长期稳定性将更差。虽然大 气压力计可以参考更高精度的压力标准设备进行归零调节，单在两个校准间隔 （通 常为一年）之间时，大气压计是否发生了漂移，发生了多大漂移，漂移值是否已经 超出了允许的范围，都是不得而知的。这无疑的高准确度的绝压测量带来极大隐患。 以上分析为使用表压传感器的数字压力控制器测量绝压时的情况。同样道理，如果数字 压力控制器使用的参考压力传感器是绝压型，测量绝压时不需使用大气参考，不会引入以上 问题；但在进行表压测量时，如果还是采用大气压计测量大气压值，将绝压传感器测到的值 减去大气压值得到表压值这种方法，则问题将再次出现，在表压的低压部分准确度同样会受 到严重影响，可能导致错误的校准结果。 三、三、解决方案解决方案 三三、