氧化铝多孔膜振动性能实验研究.pdfVIP

标书网专业编写标书，提供资质陪标，代理投标，围标调查 标书网长年招聘造价师兼职，精算标底，只要算得准，重奖50万 第 卷 第 期 实 验 力 学 Vol.20 20 3 No.3 年 月 2005 9 Se.2005 JOURNALOFEXPERIMENTALMECHANICS p 文章编号: ( ) 1001-4888 200503-0370-05 氧化铝多孔膜振动性能的实验研究* , 12 1 1 1 柳兆涛 ,李 凯 ,辜 萍 ,缪 泓 ( 中国科学技术大学 力学与机械工程系,合肥 ; 合肥工业大学 土木建筑工程学院,合肥 ) 1. 230027 2. 230009 摘要:电化学氧化法制备的氧化铝多孔膜有六角规则密排的纳米孔,其优良的结构特点使其具 有良好的用途,可应用于微粒物质分离,氧化剂的载体,微电子机械系统的组件和纳米器件等。 在前期研究了这种氧化铝膜的力学性能如拉伸性能和弯曲性能的基础上,本文实验研究了这种 氧化铝多孔膜的振动特性即共振频率特性和振动模态,估算了该氧化铝多孔膜的相当弹性模 量,与其他方法测得的相当弹性模量基本一致。 关键词:氧化铝多孔膜;振动性能;振动模态;频谱曲线;相当弹性模量 中图分类号: 文献标识码: O348 A 1 引言 标书网址导航 [ ,] 1 2 膜科学和技术的发展与应用,促进了膜制备、表征和应用,并使其受到极大的关注和深入研究 。 尤其是随着纳米技术和 MEMS技术的出现和发展,膜越来越多地应用于纳米器件组装和 MEMS的重 [ ] 3 5 要部件 ～ 。高纯铝片经过二步阳极氧化可制得孔径在 纳米之间、呈规则六角形有序排列的直 5 200 ～ 通孔的氧化铝薄膜,纳米孔相互平行,贯通整个基体且与基体表面垂直,薄膜厚度在几百纳米到几百微 标书人才网 建造师、造价师（与“标书”相关的工作免费介绍） 米之间。阳极氧化铝薄膜具有良好的化学、电磁、机械和热稳定性能。这种结构特征和性能特点使其可 应用于物质分离、纳米器件的组装和MEMS的薄膜构件等方面。薄膜的力学性能对其构成的组件的可 靠性、稳定性和寿命具有决定性的影响。而由于薄膜低维尺度效应的缘故,由相同化学组分的宏观块体 [ ,]