用于微胶接的pL级点胶方法.pdfVIP

第 2O卷 第 12期 光学 精密工程 V01．2O No．12 2012年 12月 OpticsandPrecisionEngineering Dec．2O12 文章编号 1004—924X(2012)12—2744—07 用于微胶接的pL级点胶方法 史亚莉 ，李福东，杨 鑫，张正涛，徐 德 (中国科学院 自动化研究所精密感知与控制研究中心，北京 100190) 摘要：为了获得与微米级零件尺寸相匹配的pL级胶滴 ，分析了注射式、喷射式和转移式 3种常用的微小液滴生成机制。 基于注射式原理设计了一种时间压力型pL级点胶方案，通过视觉在线检测胶斑直径，控制点胶针尖 内径、作用压力和时 间，得到 pL级胶斑 。实验研究了针尖 内径、压力、时间对胶斑直径的影响，并将此方法应用于激光惯性约束核聚变实验 中冷冻靶装配时靶丸零件与充气管零件之间的微胶接。实验结果表明：胶斑直径与点胶针尖内径、压力和时问三者成正 比例关系，当使用端部 1．2 rn内径 的点胶针 ，设置压力为0psi(1psi~6．895kPa)，时间为8～10S时，可 以满足胶斑体 积小于 3pL，直径小于40 m的指标要求。该方法可实现微米级零件微胶接时的pL级点胶，而且工艺简单，易于实现。 关 键 词 ：微装配 ；微胶接 ；pL级胶滴；点胶 ；时间压力型 中图分类号：TH706；TL632 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2744 pL classadhesivedispensingapproach formicrobonding SHIYa—li ，LIFu—dong，YANG Xin，ZHANG Zheng—tao，XU De (ResearchCenterofPrecisionSensingandControl，InstituteofAutomation， ChineseAcademyofSciences，Beijing100190，China) *C0rrg50 ”gauthor，E-mail：shiyali0825@126．com Abstract：ToobtainpLclassadhesivedroptomatchthemicropartsinsize，threekindsofmicrodrop makingmechanisms，injection，bubblejetting，andneedletransfer，wereanalyzed．A pLclassadhe— sivedispensingapproachbasedontime—pressuredispensingwaspresent，thenpL classadhesivespots wereobtainedbyonlinevisualmonitoringofthespotdiameter，andcontrollingtheinternaldiameter ofthedispensingneedletip，pressureandtime．Theeffectsofthreefactorsmentionedaboveonthe adhesivespotsizewereexperimented，andthistechniquecombinedwith amicromanipulationsystem wereusedinInertialConfinementFosion(ICF)experimentstobondafilltubeandacapsuletogether forthecryogenictargets．Theresultsshow thattheadhesivespotdiameterisproportionaltothein— ternaldiameterofthedispensingneedletip，pressureandtime．Whentheinternaldiameterofneedle tip，pressureandtimearecontrolledtobe1．2a／m，0psi，and8～ 10S，the