溅射工艺参数对SiO2_PET包装膜结合强度的影响.pdfVIP

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2017-09-12 发布于山东
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溅射工艺参数对SiO2_PET包装膜结合强度的影响.pdf

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第卷第期装学报 5 2 Vol.5 No.2 年月 2013 4 Packaging Journal April 2013 doi:10.3969/j.issn .1674-7 100.20 13.02.006 溅射工艺参数对SiO /PET 包装膜结合强度的影响 2 丁泽良孙敏王文韬（湖南工业大学机械工程学院，湖南株洲 412007 ）摘要：采用磁控溅射工艺制备了SiO /PET 包装膜，研究了射频功率、溅射时间、本底真空度和氩气流 2 量等工艺参数对膜结合强度的影响。结果表明：随着射频功率、氩气流量的增大和溅射时间的增加，膜的结合强度均呈现出先增大后减小的变化趋势；本底真空度越高，薄膜的结合强度越大；所设的个工艺参数 4 中，溅射时间对薄膜结合强度的影响最大，射频功率次之，本底真空度和氩气流量的影响最小。关键词：磁控溅射；；薄膜；工艺参数；结合强度 PET SiO 2 中图分类号：；文献标志码：文章编号： TB487 O612.5 A 1674-7100(2013)02-0026-04 Effect of Process Parameters on the Adhesion Strength of SiO /PET 2 Packaging Films by Magnetron Sputtering Ding Zeliang, Sun Min, Wang Wentao （，，） School of Mechanical Engineering Hunan University of Technology Zhuzhou Hunan 4 12007, China ： Abstract SiO /PET packaging films were prepared by magnetron sputtering. The effects of sputtering power, sput- 2 tering time, vacuum degree, and argon flow on the adhesion strength of films were researched. Results showed that the adhesion strength increased with the rise of sp