一种微腔型PCR集成芯片的设计及其热分析.pdfVIP

第24卷 第8期 传 感 技 术 学 报 Vo1．24 No．8 2011年 8月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Aug．2011 DesignandThermalAnalysisofaM icro-ChamberPCR IntegratedChip L／UYimin，NIEJinquan，ZHAO Yulong ，PENGNiancai (StateKeyLaboratoryforManufacturingSysternsEngineering，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an710049，China) Abstract：A novelmicrofabricatedPolymeraseChainReaction(PCR)chipbasedon siliconisproposed．A microheater，adoptingdoped semiconductorsasheatingresistors，isutilized to increasetheheatingefficiencyand improvethetemperatureuniformityofthechamber．Thetemperaturecontrolmodule，whichiscomprisedbythePt temperaturesensorand microheater integrated in thebottom ofthechip，can providethreekindsofspecific temperatureforthePCR reactionprocess．Inaddition，anopentypereactionchamberwithavolumeofabout1．78 txLisdevisedtofacilitatetemperaturecalibration．Lumpedparametermethod isintroducedtocalculatethepower andtherate in the cycleprocessofheatingand cooling．TheANSYS@ software simulatesthe themr odynamic propertiesandthermalcyclingprocessofthechip．Thenanoptimalmicroheaterdesignmethodandsuitableheating powerareobtained．Finally，asuitoffeasiblelayoutand fabrication processare contrived．The chip hasmany advantages，suchassmallsize，rapidreactionrate，highheatingefficiencyandhighintegration，etc． Keywords：PCRchip；lumpedparametermethod；thermalanalysis；micromachiningtechnology EEACC：7230J；2575 doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2011．O8．002 一 种微腔型 PCR集成芯片的设计及其热分析术 刘亦敏，聂金泉，赵玉龙 ，彭年才 (西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，西安 710049) 摘 要 ：设计了一种新型的硅微聚合酶链式反应(PCR)芯片。该芯片采用掺杂半导体作为加热电阻来提高加热效率，改善 反应腔内的温度均匀性。集成在芯片底部的Pt温度传感器与微加热器组成温度控制单元，为PCR反应过程提供所需的三种 特定温度。此外，为了便于温度校准，设计了敞开式的反应腔，其容积约 1．78IxL。采用集总参数法计算了芯片在加热和冷却 循环过程中的功率和速率 ，使用ANSYS~软件仿真分析了芯片的热力学特性和热循环过程，优化了加热器的设计方法并获得 了合适的加热功率。最后设计了芯片版图及一套可行的工艺流程。本芯片具有体积小、反应速度快、加热效率高和高度集成 化等优点。 关键词 ：聚合酶链式反应芯片