(FeCo)-Ag颗粒膜制备及GMR性能的研究.pdfVIP

第42卷 第5期 稀有金属材料与工程 、，01．42．NO．5 2013年 RAREMETALMATERIAI，SAND Mav 5月 ENGlNEERING 2013 陈 伟1，成 钢1，一，武小飞1，马 垒1，一，耿胜董1，顾正飞1·2 (I．桂林电子科技大学，广西桂林541004) (2．广西信息材料重点实验室，广西桂林541004) 以及磁性能。磁电阻测量表明：当x=55时，厚度为400 不断升高，矫顽力逐渐增大。 关键词：颗粒膜：微结构；巨磁电阻效应(GMR)；磁滞回线 中图法分类号：TM27 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2013)05—1067—04 磁性颗粒薄膜由磁性纳米微粒镶嵌于非磁性基体 化强度的要求。因此，本研究在Fe．Ag和Co—Ag研究 构成，显示出奇异的物理性能，如超顺磁性、巨磁电 的基础上，探究Fe、Co两种铁磁性元素同时加入对 阻效应(GMR)等[1，2】。自从1988年在Fe／Cr[3】多层膜中发 现了GMR效应以来，纳米磁性薄膜的GMR效应和结构和磁性能随退火温度的关系。 成为研究的热点。GMR效应不仅存在于多层膜中，在 1 实 验 颗粒膜中同样存在。由于颗粒膜制备简便、较好的可 控性以及重复性，从而吸引了很多人的关注[4】。影响 利用超高真空磁控溅射系统，采用直流溅射制备 颗粒膜GMR效应的因素有很多，如铁磁成分、颗粒尺 (Fe83C01 寸、退火方式、沉积方式和条件以及薄膜的厚度等。 工作气体为氩气，衬底为载玻片。靶材为FeCoAg复合 各种因素的作用归根结底是影响颗粒的尺寸或颗粒间 距，进而影响电子输运的自旋相关散射和GMR效应。 可通过改变Fe片、Co片的数量和排列来改变薄膜中的 颗粒膜材料的巨磁电阻效应被普遍认为是来源于 铁磁性成分的含量。基片温度为室温。沉积薄膜前， 自由传导电子在颗粒与母体之间的界面上及磁性颗粒 衬底分别在丙酮、乙醇及去离子水中超声清洗，干燥 内部的白旋相关散射[5]。自旋极化的传导电子在输运 后送入真空室。溅射系统的背景真空度优于9．0x10～Pa， 过程中，如果电子自旋方向与局部磁化矢量平行，则 溅射气压为0．7Pa，溅射功率为160W。溅射成膜后， 电子受到的散射小，平均自由程长，相应的电阻率较 低；反之，则电阻率较高。在铁磁颗粒尺寸及其间距 小于电子平均自由程的条件下，颗粒膜就有可能呈现 为15min。薄膜厚度通过XP一100型台阶仪测量，样品 出GMR效应。因此颗粒膜中磁性颗粒的性质，包括 ADVANCE 磁性能、分布、粒径大小等因素，对GMR起决定性 谱仪上进行。x射线衍射分析在D8 X一射线 作用。在颗粒膜系统中，Co—Ag颗粒膜在室温下有着衍射仪上完成，实验中x射线衍射仪采用Cu靶的单色Cu 最大的磁电阻，已经有很多人进行了许多非常出色的 Ks作为辐射源；磁电阻采用传统的四探针方法在室温 工作[6】；另一方面，在铁磁性金属元素中，Fe基通常 下进行测量，外磁场为0～1．2T，磁场平行膜面。GMR 具有高的饱和磁感应强度，而Co基通常具有低的饱和 磁致伸缩系数，正好满足软磁薄膜材料需要高饱和磁 磁场为零时的电阻，RH为外加磁场下的电阻。 收稿日期：2012．05．16 万方数据 ·1068· 稀有金属材料与工程 第42卷 2结果与讨论 采用直流磁控共溅射制各