Mn 离子注入GaN 薄膜的磁性研究 3.pdfVIP

石 　瑛 等 :Mn + 离子注入 GaN 薄膜的磁性研究 1515 ( ) ( ) 用超导量子干涉仪 SQU ID 对样品的磁性进行 由低温下的磁滞回线可测得样品的矫顽力 Hc 和剩 ( ) ( ) + 了分析 ,结合用 X 射线衍射 XRD 和扫描电子显微镜 余磁化强度 M R 数值 , 本工作 中得到的 Mn 注入 ( SEM) 对 GaN 膜在注入和退火后的结构和形貌研究