致密Al2O3陶瓷厚板激光离散通孔密排无损切割新技术研究.pdfVIP

第 38卷 第 6期 中 国 激 光 Vol_38，No．6 2011年 6月 CHINESEJOURNALOFLASERS June，2011 致密 Al2O3陶瓷厚板激光离散通孔密排无损 切割新技术研究 季凌飞 闫胤洲 鲍 勇 陈晓川 蒋毅坚 (北京工业大学激光工程研究院，北京 100124) 摘要 以 l0b】2mm厚致密 Al：0 陶瓷为研究对象，采用 CO。激光 ，以离散通孔密排分离新技术 ，实现 了厚板陶 瓷直线 、曲线等 自由加工路径 的激光无损切割 。采用扫描电镜 (SEM)和激光共 聚焦显微分析方法研究 了切缝表面 的熔凝层结构，评价 了无损切割 的 良好质量。以激光切割过程 的高速摄像 CCD分析为基础 ，对激光峰值功率、占 空 比、频率 、打孔时间等特征工艺参数进行 了优化分析 ，给出了厚度不小于 10mrn致密 陶瓷激光无损