具有不同反射率的减反射层对单晶硅太阳能电池效率的影响.pdfVIP

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2017-09-12 发布于山东
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具有不同反射率的减反射层对单晶硅太阳能电池效率的影响.pdf

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中国科技论文在线具有不同反射率的减反射层对单晶硅太阳能电池效率的影响杨帆，刘爱民，张炳烨，赵增超，张恩阳** 5 （大连理工大学物理与光电工程学院，辽宁大连 116024 ） 2 摘要：先是探究了采用化学湿法刻蚀在面积为15.6×15.6 cm 的P 型制绒单晶硅衬底上制备硅纳米线的的过程：首先在HF/AgNO 混合液中沉积 Ag 膜，然后在HF/H O 混合液中刻蚀 3 2 2 硅纳米线。通过控制刻蚀参数，本实验制备出了具有不同长度和分布情况的硅纳米线，由此得到了反射率在 15.1%到 5.5%之间变化的硅纳米线/金字塔双重结构减反射层。通过对比实 10 验，分析了减反射层对电池效率的影响。结论是减反射层中的纳米线越长且分布越密集，则其反射率越低，但这样的结构也会导致光生载流子的表面复合作用增强。因此，减反射层的选择，应该兼顾表面光反射和载流子表面复合两个方面的平衡，这样才能有效提高电池效率。最后，基于 200nm 硅纳米线构成的减反射层，我们制备出了最高效率为15.94%单晶硅太阳能电池。 15 关键词：微电子与固体电子学；纳米线；刻蚀；反射率；效率中图分类号：O47 Influence of nanowires AR layer with different reflectivity on the conveision efficiency of monocrystal silicon solar cell 20 YANG Fan, LIU Aimin, ZHANG Bingye, ZHAO Zengchao, ZHANG Enyang (School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, LiaoNing DaLian 116024) 2 Abstract: Nanowires on 15.6×15.6 cm large area black p-type pyramid-textured monocrystal silicon were fabricated by metal-assisted electroless chemical etching carried out by depositing Ag 25 film in HF/AgNO and Ag-assisted etching in HF/H O . Controlling the length and distribution of 3 2 2 nanowires, pyramid/nanowire AR layers of different specification were attained. Reflectivity of AR layers ran