基于SOI非对称马赫曾德尔结构的集成矢量和微波光子移相器.pdfVIP

第 4卷 第 4期 中国光学 Vo1．4 No．4 2011年 8月 ChineseOptics Aug．2011 文章编号 1674—2915(2011)04—0418-05 Integratedvectorsum microwavephotonicphaseshifter based on asymmetricM ach-Zendnerstructurein SOI XIAOYong—chuan，QUPeng—fei，ZHOUJing—ran，LIUCai—xia，DONGWei，CHENWei—you (StateKeyLaboratoryonIntegratedOptoelectronics，CollegeofElectronicScience andEngineering，JilinUniversity，Changchun130012，China) Abstract：Anintegratedvectorsum microwavephotonicphaseshifter(MWPPS)basedontheasymmetric Mach．ZendnerstructureinSilicononInsulatorfSOI)ribwaveguideswasdesignedandfabricatedforthefirst time．A fixedturetimedelayof47pswasachievedbyalengthdifferenceof3983txm betweenthetwoasym． metricarras．Thentwothermo—opticalVariableOpticalAttenuators(VOAs)wereintegratedinthetwoalmsre． spectivelytotunetheopticalpowerindividually．Thephaseshift rangingfrom 0。tonear180。fora10 GHz microwavesignalhasbeenachievedbytheRIvariationof0～6×10 inVOAs．Thedevicewhichhasavery compactsizecouldbeeasilyintegratedinsiliconoptoelectronicchipsandexpectedtobewidelyusedinOpti— callyControlledPhasedArrayRadars(OCPARs)． Keywords：phaseshifter；microwavephotonics；SilicononInsulator(SOI) 基于 SOI非对称马赫 曾德尔结构的集成矢量和 微波光子移相器 肖永川，瞿鹏飞，周敬然，刘彩霞，董 玮，陈维友 (吉林大学 电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室，吉林 长春 130012) 摘要：设计和分析了一种基于SOI(绝缘体上的硅)脊型波导非对称马赫曾德尔结构的集成矢量和微波光子移相器。对 于 10GHz的微波信号 ，设定非对称两臂的长度差为3983Ixm时，其相应的时间延迟约为47ps。分别在两臂上集成了一 个热光可调谐可变光衰减器用于光学调谐，当衰减单元的折射率在 0～6×10 变化时，实现了10GHz微波信号在 0— 180。的相位调谐。该器件尺寸小 、结构紧凑 ，易于实现片上集成，在光控相控阵雷达中很有应用前景。 关 键 词 ：移相器 ；微波光子学；绝缘体上的硅 中图分类号 ：TN256 文献标识码 ：A 收稿 日期 ：2011-04一t1；修订 日期 ：2011—07一l3 基金项 目：国家 自然科学基金资助项 目(No，吉林省科技发展计划资助项 目(No，吉林大学基 本科研业务费资助项 目(No．200903084) 第4期 XIAOYongchuan，eta1．：Integratedvectorsummicrowaveph。tonicp