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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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大面积 线 毫米软 射线金属型透射光栅的
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设计、制作与检测!
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朱伟忠 吴衍青 郭 智 朱效立 马 杰 谢常青 史沛熊 周洪军 霍同林
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邰仁忠! % 徐洪杰!
!）（中科院上海应用物理研究所，上海 ’!(’’ ）
）（中国科学院微电子研究所，北京 !’’’) ）
# ）（丹麦科技大学，哥本哈根 (’’ ）
$ ）（中国科技大学国家同步辐射实验室，合肥 #’’) ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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基于严格的矢量耦合波理论，优化设计了用于 软 射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版 采用电子
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束光刻技术，在国内首次成功制作了周期为 的大面积金属型透射光栅 光栅面积为 ， 浮
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雕厚度为 ， 为 ，衬底 厚度为 此光栅将用于上海光源软 射线干涉光刻实验站 利
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用其 级衍射光和 级衍射光将可以经济高效地制作周期为 和 的大面积周期结构 最后，测量了该光栅
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对波长为 同步辐射光的衍射光强度，并且推算得出该光栅的 级和 级衍射效率分别为 和 ，
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