激光微孔加工中调节孔锥度的算法研究.pdfVIP

第42卷 第3期 激 光 与 红 外 Vo1．42，No．3 2012年 3月 LASER ＆ INFRARED March，2012 文章编号：1001-5078(2012)03-0263-05 ·激光应用技术 · 激光微孑L加工中调节孔锥度的算法研究 于 洵 ，张 晓 ，程光华 (1．西安工业大学光电学院，陕西 西安 710032； 2．中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室，陕西 西安 710119) 摘 要：基于超快激光倒锥孔微加工技术需要，提出了一种利用 电光晶体的电光偏转原理调节 光束产生动态精密微位移的方法。通过四块楔形电光晶体的特定方式组合，调节施加在电光 晶体上的电压大小，可使出射光束产生动态的横向位移。在此方法的基础上施加旋转运动，可 实现激光加工锥度可控的倒锥孔。本文介绍了横向位移的产生方法，分析了产生最大横向位 移的影响参数，举例使用KDP，D—KDP，RTP等电光晶体，讨论 了不同长度下，所产生的动态 横向微位移范围。入射光束直径3mm，电光晶体厚度 3mm，宽度 30film，总长为210mm，楔 角 为0．3rad，调节 电压从 0～90000V时，R1P 电光晶体可产生 0—700 m 的动态横 向 位移。 关键词：激光微加工；电光效应；倒锥孔；光楔 中图分类号：TN249 文献标识码 ：A DOI：10．3969／j．issn．1001．5078．2012．03．005 Studyonalgorithmsofadjustingthetaperin lasermicro-processing YU Xun ，ZHANG Xiao ，CHENG Guang—hua (1．SchoolofPhotoelectricEngineering，XianTechnologicalUniversity，Xian710032，China；2．StateKeyLaboratoryofTransient OpticsandTechnology，XianInstituteofOpticsandPrecisionMechanics，ChineseAcademyofSciences，Xian710119，China) Abstract：Accordingtotheneedofuhrafastlasermicro-processingtechnology，weproposeamethodutilizingelectro· opticcrystalSbeam deflectionprincipletogeneratedynamicprecisionmicro-displacement．Fourwedge-shapedelec- tro—opticcrystalsmakeaspecialstructure．Adjustingthevoltagesontheelectro·opticcrystals，thebeamCna producea dynamichorizontaldisplacement．Addingrotationtothis，thebeam canbecontrolledtoprocessinversetaperholes． Thispaperdescribesthemethodofgeneratinglateraldisplacement，andanalyzestheparametersthatimpactthegrea- testhorizontaldisplacement．TakingKDP，D-KDP，RTPandoth