基体温度对氮化钛涂层微观结构的影响.pdfVIP

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第32卷第4期 中南民族大学学报(自然科学版) V01.32No.4 ofSouth—Centralfor Dec.2013 2013年12月 Journal Nationalities(Nat.Sci.Edition) University 基体温度对氮化钛涂层微观结构的影响 陈首部L2,孙奉娄L2 (1中南民族大学电子信息工程学院,武汉430074;2中南民族大学等离子体研究所,武汉430074) 摘要采用双辉离子渗金属(DGPSA)技术,在硬质合金基体表面上沉积氮化钛(TiN)涂层,通过x射线衍射 (XRD)表征和显微硬度计测试,研究了基体温度对TiN涂层微观结构及其性能的影响.实验结果表明:所制备的 TiN涂层均为面心立方结构,并且基体温度明显影响TiN涂层的织构系数、晶粒尺寸、晶格常数、残余应力、微观硬 度和耐磨性能.当基体温度为650—780℃时,所沉积TiN涂层具有最小的晶粒尺寸、最高的显微硬度、最大的品格 常数和最好的耐磨性能. 关键词双辉;氮化钛;微观结构 中图分类号TGl56.8文献标识码A文章编号1672-4321(2013)04-0059-05 InfluenceofSubstrate onMicrostructureof Temperature TitaniumNitride Coatings ChenShoubul-.Sun Fengloul’2 ofElectronicInformation for (1 UniversityNationalities,Wuhan430074,China; College Engineering,South-Central 2PlasmaResearch for Institute,South-CentralUniversityNationalities,Wuhan430074,China) hard AbstractTitanium were onthesurfaceof tools thedouble deposited alloy slowplasma nitride(TiN)coatings using surface effectofsubstrate onmicmstructureandmechanicalcharacteristicsofTiN temperature alloying(DGPSA).The was microhardness resultsdemonstratethatallthe diffraction(XRD)and coatingsinvestigatedbyX-ray test.Experimental

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