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Agilent Pulsed-IV 参数测试 解决方案选型指南 符合您需要的 Agilent Pulsed-IV 解决方案 在半导体制程开发过程中和评估 半导体器件时，Pulsed-IV参数测试越 来越成为通用性的要求。近年来，由 于对使用新型材料的先进制程的开 发，对更低功耗器件的需求，以及其 它因素，使得对精确的 Pulsed-IV 测 量的需求增多。 为满足这些测量需要，Agilent 推 4155C/4156C B1500A 出多种 Pulse-IV 参数测试解决方案， 这些解决方案包含较大脉宽宽度、电 压 / 电流输出范围和业内的性能指 表 1. 标。每种解决方案都经过很好的实际 最大漏极电流 应用验证，并被世界各地的许多研究 最大栅/漏极电压 人员采用来满足各种先进测量的需 要。这些解决方案被广泛采用从使用 high k 绝缘材料做的栅极和 SOI 晶体 管等尖端技术的制程开发，到评估使 用常用半导体材料如 GaAs 和 HEMT 的制程。 这篇选型指南全面介绍Agilent Agilent Pulsed-IV 所有各种脉冲 I V 参数测试解决方 参数测试解决方案 的脉宽范围 案，逐项比较它们的性能指标，使您 能找到最适合您特定需要的最佳解 决方案。 选择符合您测量需要的最佳解决方案 这篇选型指南通过帮助您比较各 2. 当确定哪种或哪些解决方案符合您 种 Agilent Pulsed-IV 测量解决方案， 对脉宽的要求时，请把未来需求也 从中选出最符合您测量应用需要的最 考虑进去。 佳解决方案。通过执行下面列出的步 骤，您将能确定最符合您需要的正确 3. 如果有一种以上的解决方案符合脉 解决方案。 宽要求时，选择应考虑其它测量参 数(电流测量分辨率，电流/电压 1. 根据下面列出的每一项 Pulsed-IV 输出能力等)。应记住可能要在不 指标，确定您的测量要求。 同参数间作出权衡决定(如精准度 与电压 / 电流输出能力之间的 注意: 您必须知道某些解决方案只 权衡)。 能用于特定的器件类型和配置。 ● 脉宽范围 4. 在确定解决方案后，要再次验证该 解决方案的所有技术指标，确认该 ● 所需的电流测量分辨率 方案能够满足您的应用和器件的测 ● 最大电压和电流输出能力 量需要。 ● 双通道脉冲能力 图 1. Pulsed- IV 的例子 2 Pulsed-IV 解决方案综述—B1542A (10 ns 至1µs) ● 经应用证明的, 使用10 ns脉宽对 目标器件类型 由于可实现的