Cu_Cu(Ge, Zr)_SiO2_Si多层膜界面可控反应及热稳定性研究.pdfVIP

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2017-09-11 发布于山东
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Cu_Cu(Ge, Zr)_SiO2_Si多层膜界面可控反应及热稳定性研究.pdf

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49 10 Vol.49 No.10 2013 10 1264—1268 ACTA METALLURGICA SINICA Oct. 2013 pp.1264–1268 Cu/Cu(Ge, Zr)/SiO /Si 2 ∗ 1) 1) 1) ℄ 1) 2) 1) 3) 1) ℄, 610064 2) ℄, 610064 3) ℄, 710049 SiO /Si Cu/Cu(Ge, Zr) , (FPPT), X 2 (XRD), (HRTEM), X (XPS) (EDS) . , (200 ), Cu(Ge, Zr) Ge Cu Æ Cu Ge , ℄Æ Cu Si ; (450 ), Zr Cu Ge/SiO SiO 3 3 2 2 Æ ZrO /ZrSi O . Cu(Ge, Zr) Æ x y x Cu Ge/ZrO / ZrSi O , Cu/Cu(Ge, Zr)/SiO /Si ℄. 3 x y x 2 Cu(Ge, Zr) , Æ, Æ, TN47, TN04 A 0412−1961(2013)10−1264−05 CONTROLLED REACTION ON INTERFACE OF Cu/Cu(Ge, Zr)/SiO /Si MULTILAYER FILM 2 AND ITS THERMAL STABILITY ZHANG Yanpo 1), REN Ding 1), LIN Liwei 1), YANG Bin 1), WANG Shanling 2), LIU Bo 1), XU Kewei 3) 1) Key Laboratory of Radiation Physics and Technology, Ministry of Education, Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University, Chengdu 610064 2) Center of Analysis and Test, Sichuan University, Chengdu 610064 3) State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, College of Materials Science and Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049 Correspondent: LIU Bo, associate professor, Tel: E-mail: liubo2009@scu.edu.cn Supported by National Natural Science Foundation of China (Nosand , Specialized