高效单晶硅太阳电池商业化进程综合分析说明.docVIP

高效单晶硅太阳电池商业化进程 汪义川 杨健 童彩霞 施正荣 无锡尚德太阳能电力有限公司 214028 摘 要：高效单晶硅太阳电池商业化生产，除了BP公司刻槽埋栅太阳电池工艺外，传统丝网印刷工艺也有了很大的提高。除了传统的由TiO2作为成反射膜的工艺外，由等离子体化学气相沉积法（PECVD）制作的SiN是很有效的减反射膜，又是有效的表面钝化膜。尚德太阳能电力有限公司50兆瓦三条太阳电池生产线均能生产高效单晶硅太阳电池，平均转换效率在16.5%左右，最高转换效率大于17%。 关键词：单晶硅太阳电池、共烧。 Abstract: In commercial production of high-efficiency monocrystalline silicon solar cells, apart from the techniques adopted by BP-laser grooving buried contact, The conventional screen printing technology is also improved greatly. In the conventional technology, TiO2 film is usually used as an anti-reflection (AR) coating. The SiN layer which is produced by PECVD, is also widely used not only as a good AR coating, but also as an effective surface passivation layer. All the three production lines at Suntech Power Co., Ltd can produce high-efficiency monocrystalline solar cells, lift average efficiencies around 16.5% and high ones well above 17%. Keywords: monocrystalline silicon solar cell, co-firing 前言： 虽然上世纪末多晶硅太阳电池首次超过单晶硅太阳电池。但是单晶硅太阳电池产量并非止 步不前一路下滑。而是仍然继续发展，形成与多晶硅太阳电池并驾齐驱各领风骚的态势。  99年 2000年 2001年 2002年 2003年 全球总产量(MW) 201 287.6 404 560 762 多晶硅太阳电池产量（MW） 2004年6月在法国巴黎19届欧洲光伏器件展览会上，日本SHARP和德国Q-CELL展出了用150×150或156×156单晶硅太阳电池做出的组件。有专家立即断言，在156×156这个层面上，是否还会出现“多盛单弱”局面，下言尚早，还须有待时日观察。这是因为IC行业全面升级12吋生产线，原来8吋IC生产线陆续退役。8吋单晶炉转向太阳能级单晶棒是必然的。中国光伏晶体硅的格局，是一个“多弱单盛”的局面，多晶硅片充其量能提供9MW太阳电池的能力。而全国各地目前方兴未艾，大上单晶炉的阵势，令我们无法准确统计。今年7月江苏镇江环太硅科技 有限公司已有150×150单晶硅片问世。尚德太阳能电力有限公司根据市场需求和自我发展的需要，审时度势新建了另一条年产25MW晶片硅太阳生产电池线。该线具备生产156×156高效单晶硅太阳电池片能力。当前国际上一般都是用5吋准方片，即外形尺寸是125mm×125mm，直径150mm,面积为148.58cm2,光电转换效率η≥15.8%。尚德太阳能有限公司STP125（即TDR125×125）单晶硅太阳电池大规模生产的平均转换效率在16.5%左右，一部分电池的转换效率已远远大于17%。 1、工艺介绍 高效单晶硅太阳电池工艺流程如下： 去除损伤层、表面绒面化、发射区扩散、边缘结刻蚀，PECDV沉积SiN，丝网印刷正背面电极浆料、共烧形成金属接触，电池片测试。 1.1绒面制备 硅片采用0.5~2Ω.cm,P型晶向为（100）的单晶硅片。利用氢氧化钠溶液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面。当各向异性因子=10时（所谓各向异性因子就是（100）面与（111）面单晶硅腐蚀速率之比），可以得到整齐均匀的金字塔形的角锥体组成的绒面。绒面具有受光面积大，反射率低的特点。可提高单晶硅太阳电池的短路电流，从而提高太阳电池的光电转换效率。(见图1) `` 金字塔形角锥体的表面积S0等于四个边长为a正三角形S之和 S0 = 4S = 4×a×