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第 39 卷 分析化学 FENXI HUAXUE 仪器装置与实验技术 第 10 期
2011 年 10 月 Chinese Journal of Analytical Chemistry 1501~1505
: /
DOI 10.3724SP.J.1096.2011.01501
一种新型二次离子质谱的一次离子源及其离子光学系统
徐福兴 王 亮 罗 婵 丁传凡*
( )
复旦大学化学系激光化学研究所, 上海 200433
。
摘 要 本研究设计了一种新型用于二次离子质谱的一次离子源及其离子光学系统 通过此一次离子源,
、
大气压下产生的一次离子可以被加速 聚焦并传输到位于真空条件下的样品表面并电离样品得到可供质谱
。 ———
仪分析的二次离子 通过理论模拟结合实验系统研究了此一次离子源的主要组成部分 离子光学系统的
、 。 、
原理 结构和性能 以电喷雾电离源为例, 成功地将大气压下产生的溶菌酶离子加速 聚焦并传输到位于
-5
。 :
1×10 Torr 真空下的样品表面 实验结果表明 此一次离子源可有效拓展二次离子质谱中一次离子的种类
和范围。
; ; ;
关键词 二次离子质谱 一次离子源 电喷雾电离 离子光学系统
引 言
1
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二次离子质谱 Secondary ion mass spectrometry, SIMS 是目前灵敏度最高的表面化学分析的手段
-9
。 、
之一 它具有 10 量级的灵敏度, 能分析几乎所有的导体 半导体和绝缘体材料, 甚至还可以检测不易
[1~3]
挥发的有机分子等 。通常, 二次离子质谱工作在真空条件下, 使用高能量经过聚焦的一次离子束轰
。 ;
击样品表面, 使表面的分子发生溅射 电离等过程得到二次离子 产生的二次离子随后进入质量分析器
。 、 、 、 、
进行质荷比和结构的测定 一次离子的组成 结构 分子量 电荷 动能及离子束斑的大小等性质对产生
[4, 5]
的二次离子的种类和数量都有至关重要的影响 。
[6]
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