SolvixbyAEArcandBiasSeries陰極電弧沉積與精確的製程控制和.pdfVIP

SOLVIX BY AE ARC AND BIAS SERIES 陰極電弧沉積與精確的製 程控制和卓越的鍍膜品質 • 0 - 400 A 直流和脈衝直流電弧 電源供應器 • 3 - 30 KW 直流和脈衝直流 偏壓電源供應器 用於陰極電弧沉積的 SOLVIX BY AE 直流和脈衝直流電源供應器 Solvix by AE 電弧-偏壓解決方案為陰極電弧處理程序提供了全新層次的精準度和生產 力。 強大的電弧放電、靶材材料迅速汽化以及高能量離子會讓陰極電弧沉積功能變得強 大但同時也可能導致不穩定性。 Solvix by AE 電弧供應可在目前層次範圍（最高 400 A） 針對卓越的等離子體離子化、離子能量和生產量提供非凡的功能和過程控制。 Solvix by AE 偏壓供應甚至可以更大程度的控制薄膜特性以顯著提高鍍膜的堅硬性、緻密 性、耐用性和粘附性。 Advanced Energy 提供世界領先的電源轉換技術，Solvix by AE 電弧-偏壓解決方案具備高效能、堅固耐用且最具成本效益，最適用於先進陰極電弧工藝。 優點