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第26卷 第2期 传 感 技 术 学 报 V01.26 No.2
2013年 2月 CHINESEJOURNALOFSENSORSAND ACTUATORS Feb.2013
Design andFabrication ofStackM icro-DirectM ethanolFuelCell
UsingSiliconandPDM S
ZENGYibo一,CHENGGuansheng ,ZHAOZuguang ,LIU Chang一,
LIUJun ,WANGTingting ,GUOHang,
(1.JPm—TungSahMicroNanoTechnologyInstitute,XiamenUniversity,Xiamenn an361005,China;
2DepartmentofMechanicalandElectricalEngineering.XiamenUniversity.XiamenF函ian361005,China、
Abstract:Inordertoavoidcracksofthesiliconflow fieldplatecausedbyhighpackagepressure,siliconandPDMS
(P0lydimethylsiloxane)areusedasanodicandcathodeflowfieldplaterespectivelyinthestack 一DMFC(Micro—
directmethanolfuelcel1).TheanodicflowfieldplatebasedonsiliconisfabricatedwithMEMS(Micro-Electro—Me—
chanicalSystems)technology,andcathodeflowfieldplateisfabricatedusingPDMSanditsmetallicperformanceis
evidentlyimprovedbymeansofintegralshapingofcopperfoilandcathodeflow fieldplate,organiccleaningandac—
tivationonPDMSsurface.Theoutputofstack 一DMFC istestedandanalyzed,inwhich 3differentflow channel
structuresontheanodicplateareintroduced.Testedresultsverifythatadhesivecapabilityandstrengthen between
post-activatedPDMS and Cr/Au are greatly improved,andwhenmicroblocksand through holesareintroduced
alternatelyintheflow channelofanodicflow fieldplatethestack 一DMFC can obtain themaximum output,with
voltageof0.5V,currentdensityof81.25mA/cm andoutputpowerdensityof7.73mW /cm .Thisstudyshows
thatusingsiliconandPDMSasflow fieldplaterespectivelynotonlysimplifiesthestructureofstack 一DMFC but
alsocushionsclampingforceandeffectivelyprotectsanodicflow fieldplate,andfurthermoretoincreasetheoutput
ofstack 一DMFC byoptimizingsturctureofflow channelsontheanodicflow fieldplate.
Keywords:stack -DMFC;MEMS;flow fieldplateofPDMS;metalliccharacteristic
EEACC:8410G;2575
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