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PEALD 原位掺杂制备纳米TiO2-xNx 光催化剂.pdfVIP

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  • 2017-09-09 发布于北京
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PEALD 原位掺杂制备纳米TiO2-xNx 光催化剂.pdf

    第 28 卷 第 7 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 28 No. 7 2013 年 7 月 Journal of Inorganic Materials Jul., 2013 文章编号: 1000-324X(2013)07-0691-05 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2013.12490 PEALD 原位掺杂制备纳米 TiO2-xNx 光催化剂 饶志鹏, 万 军, 冯嘉恒, 李超波, 夏 洋 ( 中国科学院 微电子研究所, 微电子器件与集成技术重点实验室,

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