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- 2017-09-09 发布于重庆
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2009年 8月 润滑与密封 Aug2009
第 34卷 第 8期 LUBR ICA TION EN GIN EER IN G Vol34 No8
DO I: 103969 / jissn0254 - 0 150200908009
表面粗糙度对化学机械抛光工艺过程流动性能的影响
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魏红波 谭援强 高太元 李明军
( 1湘潭大学数学与计算科学学院 湖南湘潭 4 11105; 2湘潭大学机械工程学院 湖南湘潭 4 11105;
3中国
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