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电子元器件失效分析技术 信息产业部电子五所 信息产业部电子五所分析中心 课程安排 • 1 失效分析方法和技术 • 2 失效机理与失效分析方法 • 3 失效分析案例 信息产业部电子五所分析中心 第1章 失效分析方法和技术 • 1失效分析基本概念 • 2失效分析的程序 • 3失效分析方法和技术 测试、模拟、无损分析、样品制备、失 效定位、缺陷的形貌观察 信息产业部电子五所分析中心 失效分析的概念 失效分析的定义 失效分析的目的 • 确定失效模式 • 确定失效机理 • 提出纠正措施，防止失效重复出现 信息产业部电子五所分析中心 失效模式的概念和种类 • 失效的表现形式叫失效模式 • 按失效的持续性分类：致命性失效、间 歇失效、缓慢退化 • 按失效时间分类：早期失效、随机失效、 磨损失效 • 按电测结果分类：开路、短路或漏电、 参数漂移、功能失效 信息产业部电子五所分析中心 失效机理的概念 • 失效的物理化学根源叫失效机理。例如 • 开路的可能失效机理：过电烧毁、静电 损伤、金属电迁移、金属的电化学腐蚀、 压焊点脱落、CMOS 电路的闩锁效应 • 漏电和短路的可能失效机理：颗粒引发 短路、介质击穿、pn微等离子击穿、Si- Al互熔 信息产业部电子五所分析中心 失效机理的概念（续） • 参数漂移的可能失效机理：封装内水汽 凝结、介质的离子沾污、欧姆接触退化、 金属电迁移、辐射损伤 信息产业部电子五所分析中心 失效分析的作用 • 确定引起失效的责任方 • 确定失效原因 • 为实施整改措施提供确凿的证据 信息产业部电子五所分析中心 失效分析的受益者 • 元器件厂：获得改进产品设计和工艺的 依据 • 整机厂：获得索赔、改变元器件供货商、 改进电路设计、改进电路板制造工艺、 提高测试技术、设计保护电路的依据 • 整机用户：获得改进操作环境和操作规 程的依据 • 提高产品成品率和可靠性，树立企业形 信息产业部电子五所分析中心 象，提高产品竞争力 失效分析技术的延伸 • 进货分析的作用：选择优质的供货渠道， 防止假冒伪劣元器件进入整机生产线 • 良品分析的作用：学习先进技术的捷径 信息产业部电子五所分析中心 失效分析的一般程序 • 收集失效现场数据 • 电测并确定失效模式 • 非破坏检查 • 打开封装 • 镜检 • 通电并进行失效定位 • 对失效部位进行