改进的热模型及其在紫外高功率脉冲激光烧蚀金属靶方面的应用.docVIP

改进的热模型及其在紫外高功率脉冲激光烧蚀金属靶方面的应用 摘要 本文档由【中文word文档库】提供，转载分发敬请保留本信息； 中文word文档库免费提供海量范文、教育、学习、政策、报告和经济类word文档。 提出来一个描述紫外高功率纳秒激光烧蚀金属靶的改进热模型。模型中考虑了气化效应，等离子体屏蔽效应，及温度相关的吸收系数和吸收率。取铁靶为例，从热流方程(熔化前和熔化后)用有限差分得到了数值解。也提供了靶温度的空间和时间依赖，对一定激光能流两不同位置的温度时间依赖以及烧蚀率对激光能流的依赖。与实验信息吻合很好的数值结果比不考虑的更好，它表明在紫外高功率激光烧蚀中上述两效应及温度依赖的吸收系数和吸收率不应当被忽略。我们希望当前模型对进一步的用脉冲激光沉积金属膜的实验考察是有用的。 PACS: 52.38.Mf; 52.50.Jm; 79.20.Ds 关键词：A. 金属；B. 激光处理；D. 热传导；D. 热动力学性能 1. 引言 来自一小脉冲激光器的光束能很容易聚焦到固体材料引起足够的加热而导致蒸发，这被称为激光烧蚀[1]。激光烧蚀除大量的科学及实际应用，由于激光-固体-等离子体相互作用还没有完全明确，所包括的基本机制的研究是一个重要任务。激光烧蚀期间，共存于蒸气中的大量的电子，离子及被激发的中性粒子将吸收激光能量并在靶面上方形成等离子体。激光与固体和等离子体的相互作用变得更为复杂，尤其对入射激光强度大于108Wcm-2[2-4]。 激光烧蚀和多组分靶的沉积方面已开展了许多考察[5-9]。最近，更多注意集中于简单的单组分靶（如金属）激光烧蚀过程的基础研究以得到激光-固体-等离子体相互作用的基础机制的更好认识[10-14]。烧蚀过程的特征受靶吸收的激光能量的影响。朗伯-贝尔定律引入的吸收系数说明吸收能量在靶内的衰减[15]，吸收率指入射能量被吸收的比率[16]。它们都描述靶吸收激光的能力。由于纳秒脉冲激光烧蚀过程中热机制支配几乎所有的物理效应[17]，吸收系数和吸收率在激光烧蚀中是重要的光学参数。最近，已有一些关于吸收系数和吸收率方面的实验研究[18,19]。然而，激光烧蚀中吸收系数和吸收率特征详细地理论考察文献少[17,20,21]。激光烧蚀过程中不考虑气化和等离子体屏蔽效应（熔化前）的吸收系数和吸收率对温度的依赖已被深入地研究[10]。 为了描述紫外高功率纳秒激光烧蚀金属靶的整个过程(熔化前和熔化)，本文提出了包括气化效应，等离子体屏蔽效应和温度依赖的吸收系数和吸收率的简剪理论模型。该修正模型用于描述紫外高功率激光烧蚀铁靶。我们得到靶的空时依赖的温度，和靶上两不同位置一定激光能量密度条件下靶温度对时间的依赖。我们的数值结果与实验结果之间满意的吻合表明气化效应，等离子体屏蔽效应和吸收系数及吸收率对温度的依赖关系在紫外高功率纳秒激光烧蚀情况不应当忽略。 2. 理论模型 高强度激光脉冲与固体样品的相互作用包括靶表面激光-固体相互作用过程和等离子体形成。对高激光能流密度蒸气变得显著电离，吸收部分入射激光束能量并引起蒸气击穿和等离子体形成[3]。当激光产生的等离子体的密度和温度足够高在脉冲期间发生有效的靶屏蔽。激光烧蚀过程受激光等离子体耦合及等离子体运动学很强的影响。在描述激光-固体-等离子体相互作用模型前，应当介绍活跃在紫外激光烧蚀过程中主要的吸收和电离机制。 2.1 吸收和电离机制 模型中考虑了两不同光吸收过程，即，逆韧致辐射(IB)和激发态原子的光电离(PI)。 我们将首先考虑紫外激光光子((=248nm)的逆韧致辐射(IB)吸收。在逆韧致辐射过程中，在单独电子-离子碰撞中的光子吸收几率比由中性原子散射的几率更大。然而，在激光蒸发过程的早期阶段，当铁蒸气云的电离度很低时，初始蒸气中高密度的中性粒子显著增强了这后一贡献。逆韧致辐射过程通常用逆吸收长度(IB（cm-1）[22]： 这里(是激光波长，单位nm；Te是电子温度，单位eV；N0和Ne分别是中性原子和电子密度，单位cm-3。对于准分子激光烧蚀金属，如铁，等离子体粒子密度在5×1018cm-3范围，电子温度是3 eV[1]。在(1)式中(IB代表逆韧致辐射过程的总截面，包括中性粒子和离子的逆韧致辐射过程的贡献[2,3]： 中性粒子截面(IB,neu近似等于2.75×10-23cm2。由于1-6Jcm-2激光能量密度等于0.125×1019-0.75×1019个光子cm-2。截面与光子密度的乘积清楚地表明入射光子由中性原子的逆韧致辐射而被吸收的几率为～0.0034%–0.02%，这太小而不能显著地衰减激光或加热等离子体。 另一吸收过程是激发态原子的直接光电离。在紫外激光烧蚀过程中，蒸气中被激发原子的直接光电离扮演一个明显重要的角色。