TiO2薄膜的制备及其抗凝血性能的研究.pdfVIP

摘贾 摘 要 Ti02薄膜具有高的化学稳定性、优异的光学性能、光催化性能、高介电常数、 良好的抗凝血性能、高的机械强度，使其在材料涂层、光学薄膜、环境保护等领 域有着广泛的应用前景。而目前对于抗凝血性的Ti02薄膜的制备工艺参数的优化 与量化，以及对Ti仇薄膜的生长机理、性能的理论研究还有待于深入。本实验是 采用RF磁控溅射法在玻璃基片上制备TiO2薄膜，并通过改变工艺参数着重探讨 影响薄膜表面性能的因素。其中，对其表面亲水性能和抗凝血性能进行了比较深 入的研究。 本论文中，对磁控溅射制备的Ti02薄膜采用椭圆偏振光测厚仪测量薄膜的厚 度及折射率;采用接触角测定仪测量薄膜与水的表面接触角来表征薄膜的亲水性 能;采用紫外一可见分光光度计测定薄膜的紫外可见吸收光谱:采用傅立叶变换 红外光谱仪检测薄膜的红外反射光谱:采用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌和 测定表面粗糙度。而薄膜的抗凝血性能用动态凝血时间测定法表征。 研究结果表明:在本实验工艺参数范围内，制得的Ti02薄膜表面光洁、致密 均匀，薄膜表面与水的接触角较大，具有较强的疏水性能。Ti02薄膜的制备工艺 参数如氧氨流量比(02/Ar)、基片温度以及热处理和紫外光照等后处理显著影响薄 膜表面形貌、光学性能和抗凝血性能。随着02/Ar比的减小，薄膜的沉积速率和折 射率增加，紫外吸收边红移。随着基片温度的增加，薄膜中浑圆状的无定形颗粒 向定向的柱状晶粒转变，紫外吸收边红移，表面粗糙度增加。而TiO2薄膜表面通 过紫外光照和热处理可获得超亲水性。同时，与未镀膜的玻璃基片对比，镀 Ti02 薄膜的基片抗凝血性能得以明显改善。一般在高的基片温度和低的02/A:比所制备 的薄膜具有较好的抗凝血性能，而热处理和紫外光照不利于改善薄膜的抗凝血性 育nro 关键词:Ti02薄膜，磁控溅射，工艺参数，亲水性，抗凝血性 Ahstract Abstract Ti02thinfilmshavehighchemicalresistibility,perfectopticalproperty, photocatalyticproperty,remarkabledielectricconstant,goodanticoagulantproperty, highmechanicalstrength.Sotheyhavebroughtaboutmanypeoplesattention,have showedextensivelyappliedprospect,andhavebeenusedinmanyfields,including coatingsofmaterials,opticalthinfilms,environmentalprotection,etc二However, recently,theoptimizationandquantificationofpreparationparametersofgood anticoagulantTi02thinfilm,aswellastheoryreseachofthegrowthmechanismand propertiesstillneedfar-reachingstudy.Inthisexperiment,Ti02thinfilmsare synthesizedbyRFmagnetronsputteringonglasssubstrates,andthefactorsinfluencing propertiesofTi02thinfilmarediscussedemphaticallythroughchangingpreparation parameters.Meanwhile,thesurfacehydrophilicityandanticoagulantpropertyofthe Ti02thinfilmsareinvestigateddeeply. Inthispaper,Ti02thinfilmssynthesizedbymagnetronsputteringareanalysedin thefollowingaspects:Laserellipticalpolarizationmeter(LEPM)isusedtoinves