数字微镜器件在三维共焦检测系统中应用.pdfVIP

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2017-09-09 发布于安徽
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数字微镜器件在三维共焦检测系统中应用.pdf

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第29卷第4期增刊仪器仪表学报 V01．29No．4 Joumalof Instrument 2008年4月 Chinese Scientific Apr．2008 数字微镜器件在三维共焦检测系统中的应用拳盛世杰许崎欣侯丈玫 (上海理工大学光学与电子信息工程学院上海200093) Mieromirror 摘要本文研究了数字微镜器件(Digital Device，简称DMD)在并行三维共焦检测系统中的应用。数字微镜器件是美国德州仪器公司开发的一种微机电系统。每一片XGA格式的DMD芯片上都集成了近百万片微反射镜。我们可以通过计算机来控制每一片微镜偏转±12度，从而对入射光进行调制。基于这样的特性，我们将DilD和共焦显微镜相结合，用DMD 来代替传统共焦显微镜中的照明针孔，形成“虚拟针孔”阵列，从而在保留扫描共焦显微镜精度的情况下，提高检测效率。此外，本文提出了系统的横向扫描机制的优化方法，并通过实验给出了样品的采集效果。关键词共焦显微镜数字微镜器件 “虚拟针孔”阵列 of MieromirrorDeviceinConfocaifor3一D ApplicationDigital System Measurement Xu HouWenmei ShengShijie Qixin andElectron under Scienceand (InstituteofOptics InformationEngineeringUniversityofShanghaiforTechnologyShanghai 200093 China) AbstractThis studiedthe of micromirror MicromirrorDevice．or paper applicationdigital device(Digital DMD) in confocal for3．Dmeasurement．DMDisa micro-electro-mechanical parallel system inventedTexas arealmostl millionmicro-mirrorsineachX(认DMD by Instruments(TI)．There chip．They can tiltan±1 thecontrolof sothattheincidentcanbe respectively2-degreeanglethrough computer light modulated．ItisonthebasisofthischaractefisticthatwecancombineDMDandconfocal microscopetogether takesthe in confocal andform‘virtual whereDMD ofillumination conventional place pinholes