0.5微米光罩式只读存储器工艺导入研究及良率提升.pdfVIP

目 录 摘 要 ..… .‘… … ，… … ，，… … 1 A b s tr a c t . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . … … ，. 。3 引言… … 5 第一章 半导体器件相关理论… … 7 第 一节 电子 的性质 … … 7 第 二节 杂质 半导体 … … 9 第三节 PN 结基本 原理 … … n 第 四节 半 导体表 面 … … 14 第 五节 表面 势… … 16 第六节 MOS 场效应 晶体管 的基本特性 … … 17 第七节 光罩式只读存储器 (M ask ROM ) 工作 原理 … … 21 第 二章 光罩式 只读存储器新 工 艺 的导入 … … 23 第 一节 光 罩相 关信 息… … 23 第 二节 工 艺流程 … … 25 第三节 重 点工