可见光波段双层浮雕型导模共振滤波器设计与分析.pdfVIP

维普资讯 第 57卷 第 7期 2008年 7月 物 理 学 报 Vo1．57，No．7，July，2008 1000—329O，2008，57(O7)／4195—07 ACTA PHYSICA SINICA ⑥2008Chin．Phys．Soe． 可见光波段双层浮雕型导模共振滤波器设计与分析* 麻健勇) 刘世杰 魏朝阳 晋云霞 赵元安 邵建达 范正修 ’ 1)(中国科学 院l海光学精密机械研究所 ，上海 201800) 2)(中国科学院研究生院，北京 100049) (2007年 11月 8日收到 ；2007年 12月 11FI收到修改稿) 基于傅里叶模式理论分析了双层浮雕型导模共振光栅 的共振效应 ，分别讨论了光栅 的槽深 、剩余厚度 、周期以 及填充系数对峰值反射率、带宽 、旁带反射率 的影响．数据计算表 明，欠刻蚀情形的误差宽容度远远优