液体中轻敲模式下具有品质因数控制技术AFM微悬臂梁检测技术研究.pdfVIP

摘 要 爨扶聚予力u羹激镜(AFM)埏生敬来，其捡测按拳缮剿逐这发震，艨建范墨瞧 门趋广泛。目1】{『，原予力显微镜已成功的应用予物理、化学、玲属、半导体、微 }也产、纳米拱料、生物、尘众辩。乎等众多科学领域th{^j|1．鲻渣已经订人铡j{；J AFM的微悬臀粱做为传感器来检测生物化学反应，可以说AFMc三经成为迸行微 观领域研究的照要工具。 AFM谶悉谐粱有ii车孛工作方式：接魅模式(ContactMode)、菲接触模式 (Non．Contact Mode)，由于轻敲模式对样晶的损坏较 Mode)茅H轻敲模式(Tapping 小，爨魏在生物纯擎检测方嚣懿骞舞爨豹霞势。继是当农滚薅审瘟瘸轻毅模式懿， 微悬臀梁的品质因数会大幅降低，从币i影响微悬臂梁的检测精度，严徽时甚至使 检测无法进萼亍。因此提毫品质围数成为提裹波体中轻黢模式捻测效果靛关键。 本课题分析了品质因数控制技术的原理，在此基础上设计了品质因数控制电 路，弗与DI公通的MultiMode SPM连接在～起构戏一个宛整系统。通过实验验证了 晶质因数控制电路的效采，从商证明了品质因数控翻拽术的实用往。 本文的主要研究内容： 1．分褥液体中轻蔽模式下AFM徽懋簿梁晶藏因数降低豹愿嚣及握赢麓 质因数的方法； 2。在分褥兹鏊穑上设诗菇矮潮数控麓}|=l潞荠与AFM连接构成一个完整 的系统； 3．在实验中溺试该系统戆注§≥，遂行撵离鑫矮因数熬实验； 4．对实验结聚进行分析，进一步探讨品质因数控制技术的机理； 关键铡：瘴予力显微镜(AFM)擞悬壤粱较教模式晶质因数 囊激励系绞 非自激系统 ABSTRACT Sinceit was ofAtomicForce invented，the technology measuring been its are gradual developed，andapplications rapidly Microscope(AFM)has has in applications abroad，Today,AFM same SOon，Atthe science，and time， microelectronic，nanomaterial，biology,life the AFMsensortodetect and mademicrocantileverof as SOlTleone】las biological amain in chemical therelbrcAFMhasbecome instrument reaction，