THQGS-1型光栅传感器实验指导书(使用说明书).docVIP

目 录 前 言 1 THQGS-1型 光栅传感器实验箱实验指导书 2 THQGS-1型 光栅传感器实验箱使用说明书 12 前 言 光栅应用于技术领域已有一百多年的历史。早期人们是利用光栅的衍射效应进行光谱分析和光波长的测量，到了20世纪50年代人们才开始利用光栅的莫尔条纹现象进行精密测量，从而出现了光栅传感器。光栅传感器具有许多优点，如测量精度高。在圆分度和角位移测量方面，一般认为光栅传感器是精度最高的一种，可实现大量程测量兼有高分辨率；可实现动态测量，易于实现测量及数据处理的自动化；且具有较强的抗干扰能力等。因此近些年来，光栅传感器在精密测量领域中的应用得到了迅速发展。 THQGS-1型 光栅传感器实验箱实验指导书 光栅传感器测量位移实验 一、实验目的 了解光栅传感器测量位移的原理。 学习光栅传感器测量位移的方法。 加深对莫尔条纹形成的光学原理、位移放大作用和误差平均效应的理解。 二、实验设备 THQGS-1型光栅传感器实验箱。 三、实验原理 基本工作原理 在玻璃尺、玻璃盘或金属上类似于刻线标尺或度盘那样，进行长刻线（一盘为10～12mm）的密集刻划，得到如图1（a）或（b）所示的黑白相同、间隔细小的条纹，没有刻划的白处透光，刻划的黑处不透光，这种具有周期性的刻线分布的光学元件称为光栅。光栅上的刻线称为栅线，栅线的宽度为a，缝隙宽度为b，一般都取a=b，而W=a+b，W称为光栅的栅距（也称光栅常数或光栅的节距），它是光栅的重要参数。 (a) (b) 图1 光栅栅线放大图 光栅传感器是由光源、透镜、主光栅、指示光栅和光电元件构成的，而光栅是光栅传感器的主要部件，如图2所示。光栅传感器的基本工作原理是用光栅的莫尔条纹现象进行测量的。取两块光栅栅距相同的光栅，其中光栅3为主光栅、光栅4为指示光栅，指示光栅比主光栅要短，这两者刻面相对，中间留有很小的间隙d，便组成了光栅副。将其置于由光源1和透镜2形成的平行光束的光路中，若两光栅栅线之间有很小的夹角θ，则在近似垂直于栅线方向上就显现出比栅线W宽得多的明暗相间的条纹6，这种由光栅重叠形成的光学图案称为莫尔条纹，其信号光强分布如图2中曲线7所示。中间为亮带，上下为两条暗带。当主光栅沿垂直于栅线的x方向每移动过一个栅距W时，莫尔条纹近似沿栅线方向移过一个条纹间距。用光电元件5接收莫尔条纹信号，经电路处理后计数器计数可得主光栅移动的距离。 图2 光栅传感器的构成原理图 对于波长为的光源来说，要求光栅副间的间距d=/；光源一般采用钨丝灯泡；光电接收元件一般采用光电池和光敏三极管。 光栅的种类 光栅的种类很多，若按工作原理分，有物理光栅和计量光栅两种，前者用于光谱仪器，作色散元件，后者主要用于精密测量和精密机械的自动控制中。而计量光栅按其用途可分为长光栅和圆光栅两类。计量光栅的分类如图3所示。 图3 计量光栅的分类 1）长光栅 长光栅主要用于测量长度或直线位移，它的刻线相互平行，条纹密度有每毫米25、50、100、250条等。根据栅线形式的不同长光栅分为黑白光栅和闪耀光栅。黑白光栅是指只对入射光波的振幅或光强进行调制的光栅，所以也称幅值光栅或振幅光栅。图4所示的透射光栅就是黑白光栅的一种。闪耀光栅是对入射光波的相位进行调制，也称相位光栅。闪耀光栅的线槽断面分对称型和不对称型两种。 图4 黑白透射长光栅 根据光线的走向，长光栅又分为透射光栅和反射光栅。透射光栅是将栅线刻制在透明的玻璃上，反射光栅的栅线则刻制在具有强反射能力的金属（如不锈钢或玻璃镀金属膜）上。 2）圆光栅 圆光栅是把细条纹刻在玻璃圆盘上，也称光栅盘，主要用透射的，主要用来测量角度或角位移。圆光栅的结构如图5所示。根据刻划的方向，可分为两种，一种是径向光栅，其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心。另一种是切向光栅，其全部栅线与一个和光栅盘同心的小圆相切，此小圆直径很小，只有零点几到几个毫米，适用于精度要求较高的场合。径向光栅、切向光栅如图6所示。 图5 圆光栅结构图 （a）径向光栅 （b）切向光栅 图6 径向光栅、切向光栅 莫尔条纹 长光栅的横向莫尔条纹如图7所示。相邻的两明暗条纹之间的距离B称为莫尔条纹间距。 长光栅莫尔条纹间距为 （1） 式（1）中，W1为主光栅（也称标尺光栅）1的光栅常数； W2为指示光栅2的光栅常数； θ为两光栅栅线的夹角。 当光栅副间的夹角θ很小，且两光栅的栅距相等，都为W时，莫尔条纹间距B为 （2） 图7 长光栅横向莫尔条纹 由于θ值很小，条纹近似与栅线的方向垂直，故称为横向莫尔条纹。当θ=0、B=∞时，莫尔条纹随着主光栅明暗交替变化。这时的指示光栅相当于一个