超声辅助玻璃微铣削技术研究.pdfVIP

Thesis Submitted to Hebei University of Technology for The Master Degree of Mechanical Engineering RESEARCH ON ULTRASONIC VIBRATION ASSISTED MICRO-MILLING OF GLASS by ZUO Chao Supervisor: Prof. WEI Zhi March 2012 河北工业大学硕士论文 超声辅助玻璃微铣削技术研究 摘 要 随着科学技术的不断进步，制造技术领域已经把目光投向了新材料、微形结构、高精 度、高速、大功率等方面，新的材料 （比如光学玻璃、功能陶瓷等）越来越多地被应用于 高尖技术领域，在微观方面，比如微型设备仪器的研究应用也越来越受到重视。而现代加 工方法，比如超声加工，电化学加工，电火花加工，线切割加工，激光加工，以及复合加 工等等，都在随着科技的发展不断地实现着应用更广、精度更高、效率更高等先进的目标。 随着高新技术设备中某些关键零部件精度和功能要求的提高，硬脆材料如玻璃、陶瓷 等的常规加工方法已经难以满足要求，本论文就是在这样的背景下，以玻璃常规微铣削技 术为基础，在微铣削过程中引入超声振动因素，组成超声辅助下的玻璃微铣削系统，并围 绕该系统对常规铣削加工系统与超声辅助加工系统之中的各种因素及其之间的相互影响 关系进行了系统的研究分析，最终得到相应结论。本课题所作的具体工作如下： 1. 首先，对本课题的研究背景及研究意义进行了详细的文献查阅与分析，概括和总结 了现有的相关技术论文，对玻璃的超声辅助微铣削加工提出了新的思路和具体实施路线， 并对其理论可行性及操作可行性进行了研究。在对超声振动与加工相关的特性进行系统的 分析与研究基础上，找到超声振动对铣削加工进行影响的关键因素，从而为以后的超声辅 助玻璃微铣削的理论与模型的产生和建立奠定基础。 2. 以硬脆材料的常规微铣削机理为基础，利用较成熟的振动辅助模型进行针对性修改 与创新，使之符合本课题的实际情况，从而建立玻璃的超声辅助微铣削样机模型和实际加 工平台，为验证超声辅助系统的积极作用提供证据。 3. 结合计算机模拟技术设计超声辅助玻璃微铣削加工实验系统，根据本实验室现有的 设备条件和计算机模拟方法，对振动辅助所产生的不同效果和有关因素进行了综合的模拟 和实验分析。在实验室的现有条件下，进行了玻璃常规微铣削实验，得到了加工形貌，切 削形貌以及动态铣削力的相关数据。利用ADAMS 动力学分析软件进行了超声辅助微铣削的 运动与动力分析，得出了速度与加速度以及加工轨迹等运动学仿真结果，通过是否添加超 声振动的结果对比，得到有效的证据。利用DEFORM-3D 切削加工仿真软件进行了超声辅助 微铣削的加工特性分析，得到了加工温度，刀具磨损量，刀具加工过程中的接触应力的仿 真结果，并进行是否添加超声振动情况的详细对比，得出了富有意义的结果。 关键词：超声振动，辅助加工，微铣削，玻璃，铣削力 i 超声辅助玻璃微铣削技术研究 RESEARCH ON ULTRASONIC VIBRATION ASSISTED MICRO-MILLING OF GLASS ABSTRACT As s