可用于大口径精密表面缺陷检测数字化评价系统研究.pdf

丫877697 浙江大学硕士论文 摘要 随蓿高科技的发展，对精密元件表面的质量要求越来越高。元件表面的划痕、麻点、 破边等缺陷会对经过它们的光造成不同程度的散射，不僵增大了光能量的损耗，同时也 可能对元件引起严重的损伤，影响整光学系统的运行。因此精密表面疵病的自动检测一 直是期待解决的问题。 本文依据显微散射光成像系统对元件褒蘑上的划瘦、麻点、气浚等疵病形成暗鹜景 下的亮疵病图像，提出了一个完整的数字化标准的精密表面疵病检测评估体系 基于显徽散射成像纛论，搭建了一套能够臻于大口经光学元传表瑟检测的实验系 统。本文重点研究了子孔径扫描系统的设计和工作性能。分析了扫描系统的对称误差和 非对称误差，特别颐究了由cCD定位与扫描平移台鹾空闻艇标系统之阔旋转日l起的菲 对称误簸，并提出了减小误差的方法。 在图像软件处理系统中，主要分为信息获取和特征识别两个模块。图像信息的获取 是通过予孔径的拼接实现的。由于大口径元件表面疵病分布不规则、形状尺寸不一，要 完成表面疵病检测，必须对全孔径逐步施行子孑L径扫描，最后施行图形拼接。本文将利 用xY两个方向的平移来进行表两的子孔径扫描，建立相应的坐标平面，剔除冗余信感。 在详细分析各种图像拼接技术后，利用最适于本系统图像的比值匹配图像拼接原理进行 快速精确拼接。 特征识别模块中，引入数学形态学的腐蚀、膨胀、灰度滤波等算法，对二二值化的瘸 病I蚕像迸行消除噪声，图形分割，边缘检测和特征提取。最霜攫据定标标准投对各类划 痕、缺陷等不同疵病特征(如长、宽、面积)进行分析和评估。本系统已达到微米量级 线宽豹分辨率，并获嫣了可靠豹疵病浮定缝果。 关键字：疵瘸精密表覆鬻像攒接数学形；蠡学 浙江大学硕士论文 Abstract Aloag modem demaIldsfor surf配e wi饿deVelop饿gtechnology，攮e precise quali毋afe also bescatte辩difthere’rescratchesaⅡdother lli曲erand醅g圭l髓Light诚ll macroscopic defectsonthe leadto even surfaces．Scattering前ll li曲tene唱ydissipatioIl，a11dd锄agc ekments tlle of automatic optical seIiouslyt11at诚1l碰．ectperformaIlceopticalsystems．The ofsurface elementsisa tobesolved． iIlspection imperfectionsofpredse problemexpected Basedon也edefectsare in image br至ght址blackbackgroundscattc畦ngimag证gsystem， a of inthis system conlple钯digita圭eVal璐tionsu臁∞impe疏ctio壬ls，ispresen耄edpaper． Then，fhe aIldme协odoftheins讯黼ent b呦describ。d．The principle