光学仪器原理及应用(第三章).pptx

光学仪器原理及应用第三章 仪器精度理论惯性约束核聚变终端光学组件终端光学组件终端光学组件-聚焦模块两维角度调整采用三顶三拉结构 位移分辨率1μm/step 位移±15mm例： 加工一个直径为7.5mm的轴，共150只，原材料相同，同一台机床，同一个工人。结果：直径在7.4mm到7.5mm之间变化机床误差夹具误差刀具误差机床-刀具-工件的变形温度变形材料内应力的不均匀调整误差测量误差人员误差其它主轴的径向偏摆、导轨的直线度和平行度误差等夹具是否有偏心定尺寸刀具的尺寸误差、刀具在加工过程中的磨损即刚度不足影响因素刀具、机床、工件的温度变形特别是自动机床误差1精度2仪器精度指标333第一节 仪器精度理论中 的若干基本概念123多次重复测量某物理量时，各次的测得值并不完全相等，这是误差不确定性的反映。只有测量仪器的分辨率太低时，才会出现相等的情况任何测量手段无论精度多高，总是有误差存在，永远不会等于零误差是未知的，因为通常被测量的真值是未知的一、误差 （一）定义 对某物理量进行测量，所测得的数值Xi与真值X0之间的差称为误差.反映了测得值对于真值的偏离程度特点：按误差的数学特性（1）随机误差（2）系统误差（3）粗大误差按被测参数的时间特性（1）静态参数误差（2）动态参数误差按误差之间的关系（1）独立误差（2）非独立误差误差的分类二、 精度 精度是误差的反义词，精度的高低用误差来衡量，通常把精度区分为：精密度准确度正确度表征测量结果稳定地接近真值的程度，是系统误差大小的反映表征测量结果的一致性或误差的分散性，是随机误差大小的反映表征测量结果与真值之间的一致程度，是系统误差和随机误差两者的综合反映正确度与精密度都高即准确度高正确度高，精密度低正确度低，精密度高正确度与精密度都低即准确度低三、仪器精度指标（一）仪器的静态特性与线性度误差1.仪器的静态特性与线性度误差2.示值误差与示值重复性3.灵敏度与分辨率4.仪器的稳定性与漂移5.滞差（二）仪器的动态特性与精度指标1.仪器的动态特性2.动态偏移误差和动态重复性误差3.理想仪器与频率响应精度1.仪器的静态特性与线性度指标静态特性——当输入量不随时间的变化或变化十分缓慢时，即dx/dt=0时，输出与输入之间的关系仪器的静态特性：当输入和输出呈线性关系时，仪器静态特性是线性函数希望1.仪器的静态特性与线性度指标（续）若仪器实际特性与规定特性不符，产生非线性误差仪器的线性度2. 示值误差与示值重复性示值误差=仪器的指示值-被测量真值 示值重复性：外界条件不变的情况下，对同一量多次测量时，仪器示值之间的分散性 示值重复性——仪器的精密度常用相对真值来近似表示仪器正确度3. 灵敏度与分辨率 灵敏度：仪器对被测量变化的反映能力例：电感测微仪有1μm的位移输入时，能得到0.2mv的输出，则灵敏度为：s=0.2mv/ μm分辨率：数字显示式仪器：分辨率指仪器显示的最末一位数字间隔所代表的被测量值模拟显示式仪器：分辨率指一个分度（刻度）所代表的被测量值 4. 仪器的稳定性与漂移 稳定性：在规定的条件下，仪器的某些性能随时间保持不变的能力例：连续工作8小时或连续进行规定次数的测量以后漂移：仪器特性随时间的缓慢变化，通常表现为零位或灵敏度随时间的缓慢变化，称为零点漂移，是稳定性指标 5. 滞差 输入量由小逐渐增大再由大逐渐减小的过程中，对同一大小的输入量出现不同的输出量，或称为回程误差。 主要原因间隙、摩擦、死区、元器件的滞后特性、非线性特性231（二） 仪器的动态特性与精度指标动态测量：在测量过程中测量感受部件直接感受到的被测参数x是随时间变化的动态测量的几个例子： 在加工过程中进行测量利用坐标展开的方法测量一些宏观和微观的几何形状误差在测量一些符合一定函数关系的复合参数时，常以某一参数为自变量，测定另一参数。特点一种有规律的或在一定条件下有固定大小和符号的误差由输入信号的形式和仪器的动态特性所决定动态偏移误差和动态重复性误差动态偏移误差Δ(t)：输出信号y(t)与输入信号x(t)之差求输出信号y(t)的途径1.由动态特性微分方程，应用经典的微分方程解法求解2.由仪器的脉冲响应函数与输入信号的时域卷积3.由仪器的传递函数与输入信号拉氏变换乘积的拉氏反变换 得到:4.用实验测试的方法得到y(t)的样本集合一阶系统的单位阶跃响应的动态偏移误差二阶系统的单位阶跃响应的动态偏移误差若要求Δ(t)≤Δ允，则t≥t允；若t=t1，则动态偏移误差Δ(t1)若要求Δ(t)≤Δ允，则t≥t允；若t=t1，则动态偏移误差Δ(t1)动态重复性误差： 在规定的使用条件下，对同一动态输入信号进行多次重复测量，所测得的各个输出信号在任意时刻tk量值的最大变化范围，通常用三倍的动态输出标准差s(tk)表示 i=1,2,3,…,n