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设备名称：扫描电子显微镜
生产厂家：捷克TESCAN公司
设备型号：VEGA 3SBU
操作步骤：
（1）打开N2阀门由OFF位转向ON位。
（）如果进行元素分析，单击中的[]， 待真空状态显示条由红变绿，真空度小于10^-5torr后，即真空要求[高压]接通电镜高压，开始观样品单击[]，切断高压单击窗口中的[]，样品放空，调节合适的N2进入（）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，样品。
（），点击[抽真空]，真空指示进度条变绿后，可ON位转向OFF位50～1000nm，为二次电子信息深度的100倍。背散射电子数量(产额)与组成样品各元素的平均原子序数有关，随原子序数增大而增大,原子序数越大，背散射电子数量越多，得到的背散射电子信号越强，在背散射电子像（BEI）上，显示出较亮的灰度。
特征X射线：高能入射电子束与样品中元素原子内壳层电子相互作用，驱出束缚的电子，使原子处于激发态，并在电子壳层内留出1个空穴，随后，某外层电子将迅速跃迁填充这个空穴，这就伴随着能量变化，原子以发射光子(X射线)的形式释放出多余能量。每种元素核外电子轨道的能级都是特定的，产生X 射线的波长也有特征值，测定各线系X射线的波长，便可确定产生这种X射线的元素；测量相应的X射线强度就可确定该元素的含量。
电子扫描显微镜应用示图
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