第六章其他显微分析技术.pptVIP

6.1 扫描隧道显微镜（STM）与原子力显微镜（AFM） 结构简单，对试样尺寸没有任何限制，分析过程不破坏样品的表面结构。 用于材料表面原子结构的直接观察. 这是中国科学院化学所的科技人员利用纳米加工技术在石墨表面通过搬迁碳原子而绘制出的世界上最小的中国地图。 与其他表面分析技术相比，STM具有如下独特的优点： 1.具有原子级高分辨率，STM 在平行于样品表面方向上的横向分辨率可达0.1nm，在与样品垂直的纵向分辨率可达0.01nm，即可以分辨出单个原子． 硅111面原子重构象 为了得到表面清洁的硅片单质材料，要对硅片进行高温加热和退火处理，在加热和退火处理的过程中硅表面的原子进行重新组合，结构发生较大变化，这就是所谓的重构。 2．可以观察单个原子层的局部表面结构，而不是对体相或整个表面的平均性质，因而可直接观察到表面缺陷。表面重构、表面吸附体的形态和位置，以及由吸附体引起的表面重构等． 3．可在真空、大气、常温等不同环境下工作，样品甚至可浸在水和其他溶液中；不需要特别的制样技术并且探测过程对样品无损伤． 这些特点特别适用于研究生物样品和在不同实验条件下对样品表面的评价，例如对于多相催化机理、电化学反应过程中电极表面变化的监测等。 1990年，IBM公司的科学家展示了一项令世人瞠目结舌的成果，他们在金属镍表面用35个惰性气体氙原子组成“IBM”三个英文字母。 4．利用STM针尖，可实现对原子和分子的移动和操纵，这为纳米科技的全面发展奠定了基础． 隧道效应 扫描隧道显微镜(Scann ing Tunneling Microsco pe)的工作原理是基于量 子力学中的隧道效应。 对于经典物理学来说， 当一个粒子的动能E低 于前方势垒的高度V0时，它不可能越过此势垒，即透射系数等于零，粒子将完全被弹回。而按照量子力学的计算，在一般情况下，其透射系数不等于零，也就是说，粒子可以穿过比它能量更高的势垒,好像有一个隧道，这个现象称为隧道效应。 隧道效应是由于粒子的波动性而引起的，只有在一定的条件下，隧道效应才会显著。经计算，透射系数T为： 扫描隧道显微镜的基本原理 将原子线度的极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近 (通常小于1nm) 时，在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极。样品与针尖间产生隧道电流。 STM的工作模式 扫描隧道显微镜主要有两种工作模式： 恒电流模式 恒高度模式。 恒高度模式：针尖在样品表面某一水平面扫描，随着样品表面高低起伏，隧道电流不断变化。通过记录隧道电流的变化，得到样品表面的形貌图，此即恒高度模式。 隧道针尖的结构是扫描隧道显微技术要解决的主要问题之一。针尖的大小、形状和化学同一性不仅影响着扫描隧道显微镜图象的分辨率和图象的形状， 目前制备针尖的方法：电化学腐蚀法、机械成型法等。 制备针尖的材料：金属钨丝（电化学腐蚀法） 铂-铱合金丝等（机械成型法） 一般直接用剪刀剪切而成。不论哪一种针尖，其表面往往覆盖着一层氧化层或吸附一定的杂质，这经常是造成隧道电流不稳、噪音大和扫描隧道显微镜图象的不可预期性的原因。 每次实验前，需对针尖进行处理，一般用化学法清洗去除表面的氧化层及杂质，保证针尖具有良好的导电性。 6. 2 原子力显微镜（AFM） STM不能测量绝缘体表面的形貌。 AFM不但可以测量绝缘体表面形貌，还可测量表面原子间的力，测量表面的弹性、塑性、硬度、粘着力、摩擦力等。 基于扫描探针显微镜的纳米加工技术，包括了一种纳米刻蚀技术（Nanolithgraphy）。这种技术可以实现在纳米尺度上制备产品。目前，微电子技术中最细的刻线为几分之一微米，而利用STM中针尖与表面的相互作用可以进行纳米级的刻蚀。 目前刻蚀图形的线宽约为10nm。这种纳米刻蚀技术应用于微电子的工作介质上就有可能制造出高密度的存储器。日本NEC公司已研制出超高密度记录技术，其记录密度为目前磁盘的约3000倍。若将STM刻蚀技术与分子束外延薄膜生产技术相结合，即可用于制造三维尺寸均为纳米级的量子器件。例如利用砷镓和砷铝镓多层分子束外延薄膜材料加上纳米刻蚀，即可构成电或光的量子器件。这将对微电子、激光技术和光电技术带来革命性的影响。 所以在原子力显微镜中也利用斥力与吸引力的方式发展出三种操作模式：???????（1）利用原子斥力的变化而产生表面轮廓为接触式原子力显微镜（contact AFM），探针与试片的距离约数个?。???????（2）利用原子吸引力的变化而产生表面轮廓为非接触式原子力显微镜（non-contact AFM），探针与试