第八章显微分析.ppt

第八章 显微分析 * 主要内容 普通光学显微镜简介 电子束与固体样品相互作用 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 原子力显微镜 要知道的几个重要的分辨率 人眼：0.2mm/250mm（明视距离） 光学显微镜：0.2μm 电子显微镜：0.2nm 一、普通光学显微镜简介 二、 电子束与固体样品相互作用 如图，当高能电子束轰击样品表面时，由于入射电子束与样品间的相互作用，99％以上的入射电子能量将转变成热能，其余约1％的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，它们包括： 1、感应电动势 入射电子束照射半导体器件的PN结时，将产生由于电子束照射而引起的电动势。 3、特征X射线 样品中原子受入射电子激发后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射，其发射深度为0.5~5?m范围。 5、背散射电子 是指被固体样品原子反弹回来的一部分入射电子，它来自样品表层0.1~1?m深度范围，其能量近似于入射电子能量，背散射电子产额随原子序数的增加而增加。利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成份分析。 6、俄歇电子 从距样品表面几个?深度范围内发射的并具有特征能量的二次电子，能量在50～1500eV之间。俄歇电子信号适用于表面化学成份分析。 8、透射电子 当样品足够薄时(?0.1?m)，透过样品的入射电子即为透射电子，其能量近似于入射