扫描电子显微镜与原子力显微镜技术之比较.pdfVIP

2006 11 1 CH INESE JOURNAL OF STEREOLOGY AND MI AGE ANALYSIS Vo.l 11 No. 1 March 2006 5 : 1007- 1482( 2006)01- 005 - 06 1 1 1 1 2 , , , , ( 1. , 515063; 2. , 515031) : SEM 和AFM技术是最常用的表面分析方法本文介绍了SEM 和AFM 两种技术的原理, 描述了这两种技术在样品形貌 构成分分析和实验环境等方面的性能, 比较了两种技术的特性和 不足,充分利用两种技术的互补性,将两种技术 合使用,有助于更加深刻地认识样品的特性 : 原子力显微镜; 扫描电子显微镜; 表面形貌; 化学成分 +