电子背散射衍射技术及其在材料科学中的应用76602.pdfVIP

中国体视学与图像分析2005年第10卷第4期 CHINESEJOURNAL ANDlMAGEANALYSISVol10NO4Dec OFSTEREOLOGY 2005 文章编号：1007—148212005)04—0205—06 ·综述· 电子背散射衍射技术及其在材料科学中的应用 刘庆 (清华大学材料科学与上程系先进材料教育部重点实验窜， 北京100084) 摘要：本文介绍了电子背散射衍射(EBSD)分析技术的基本原理、发展历史、EBSD系统的组成、 实验条件、分辩率及EBSD数据处理方法等。通过多个典型的实例，系统介绍EBSD技术在材料研 究领域中的应用，并就EBSD技术与其他相关分析技术的比较进行了讨论。 关键词：EBSD；取向；织构 中图分类号：TGll5．23；0722+7文献标识码：A EBSD andits inmaterialsscience