Sigma-delta电容式微加速度传感器系统研究.pdfVIP

摘要 摘 要 微加速度传感器是删S的重要研究领域之一，在工业控制、环境监控、汽 车系统以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的应用。电容式微加速度传感器是 一种典型的MEMS产品，有关它的建模、仿真和优化设计研究，对于提高产品性 能、缩短研制周期、降低成本有着极为重要的意义。 本文基于国内外电容式微加速度传感器的结构特点，分析了微机械结构和闭 环微加速度传感器工作原理，研究了si舯a．delta调制技术，在此基础上建立了 对信号进行模数转换。同时调制器提供反馈信号，实现了电容式微加速度传感器 系统的闭环工作模式。本文对系统级非理想因素进行了详细分析。文中在sIMULINK 环境下构造了传感器系统的非理想因素模型，为了满足行为级对si肿a．delta电容式 微加速度传感器系统的仿真需要，建立了非理想情况下整体系统的仿真模型，并 且分别验证了单一非理想因素对系统的影响。仿真结果表明，考虑到所有非理想 因素的影响，最坏情况下，系统信噪比达到76dB，可以实现12位精度。 本文设计了二阶调制器具体电路结构。着重论述了调制器的关键电路工作原 理以及设计思想。基于O．35umCMOS标准工艺，设计了运算放大器